PLC在低温等子体处理仪应用.docVIP

汇控PLC在低温等离子体处理仪应用 设备简介 1.1 特点 ■ 一键式操作，使用方便； ■ 腔体容积大，处理样品数量多； ■ 离子浓度高，效率高； ■ 结构紧凑，经济使用； ■ 放电均匀，装卸料方便； ■ 微机自动控制，操作方便； ■ 高性能参数控制元件，参数控制精度高，重复性好。 1.2 应用 ■ 表面清洗：如粘结前、锡焊前或电镀前的表面处理； ■ 表面活化：如生物材料的表面修饰，印刷前、上漆前或粘结前的表面处理； ■ 表面刻蚀：如硅的微细加工、聚四氟乙烯件表面刻蚀处理； ■ 表面接枝：如材料表面特定基团的产生和表面活化的固定，避免时效性； ■ 表面沉积：如疏水性或亲水性层等的离子体聚合沉积。 系统架构 2.1 主要产品功能规格 控制器：汇控ID100-1410BRA主机，14点DI，10点DO，继电器输出； 比例阀：PLC通过0-10V模拟量控制比例阀的开始量； 真空计：仪表测出真空度同时输出0—10V的非线性模拟量。 人机界面：通过RS232以艾默生协议与汇控PLC进行通信。 2.2