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数据拟合 选择需要拟合的图谱 点击 Start NLLSF键 打开一个新的窗口 数据拟合 最左上角A1是拟合效果图 ,B1是两种谱图的面积分布, A2是拟合残留，可以看到拟合的相当不错 B2、B3，其他拟合参数，如均方差、谱图位移等 拟合结果显示 最后选择Accept，就可以将拟合结果叠加到原数据，得到两种价态的比例 拟合结果 实例4：Fe/Co/Ni混合材料的数据分析 ——从复杂的重叠峰中提取XPS峰成分 从全谱数据上看，材料中含Zn、Ni、Co、Fe、Mn、O、N、C、Cl等元素。 在我们关心Fe元素的含量时发现， Fe 的2p XPS峰与 Ni和Co的LMM 俄歇峰混在了一起，造成其峰形和标准图谱很不一样。 从Fe 2p1的峰位以及微弱的Fe 2p3卫星峰位，Fe价态应该是Fe2O3价态. 元素细扫 元素细扫 Co 2p3位置~780eV，而且其CoO态的卫星峰比较明显，因此接近CoO化学态 元素细扫 从Ni 2p的峰位和峰形可以推断Ni以Ni(OH)2形式存在 NLSSF举例—从复杂的重叠峰中提取XPS峰成分 参考数据 Ni(OH)2, CoO, Fe2O3 原始数据 NLSSF举例—从复杂的重叠峰中提取XPS峰成分 NLSSF举例—从复杂的重叠峰中提取XPS峰成分 由于Ni、Co俄歇峰的干扰，直接通过Fe 2p峰的定量会造成Fe元素含量偏大，因此通过对Fe的2p峰进行非线性拟合，去掉其中的Ni和Co LMM俄歇成分，得到更准确的含量 。 其他元素 最终的定量结果 网络资源 ?Thermo XPS在线网站（介绍XPS系统、应用报告、网络讲堂以及在线数据库等信息） ?英文版：/ ?中文版：/article6406.html ?Thermo Avantage软件下载地址： ?http://www.surfsciftp.co.uk/avant5/download.php ?可以进行为期30天试用。 ?分析过程中如有需要，可以访问赛默飞在线数据库或NIST数据库： ?/periodictable.php ?/database/elementxps.php ?/xps/selEnergyType.aspx 谢谢大家！ * * * * Knowledge Base数据库 Knowledge Base数据库 XPS图谱的一般处理和分析 全谱分析 化学位移 全谱分析——电荷位移 全谱分析 Survey 全谱分析 ——精细谱分析 精细谱加峰 XPS图谱的一般处理和分析 Show all columns XPS图谱的一般处理和分析 XPS图谱的一般处理和分析 XPS图谱的一般处理和分析 XPS图谱的处理——分峰拟合 谱峰拟合——单峰拟合 XPS图谱的处理——分峰拟合 谱峰拟合——单峰拟合 谱峰拟合——单峰拟合 XPS图谱的处理——分峰拟合 谱峰拟合——单峰拟合 谱峰拟合——单峰拟合 单峰拟合，要求有合理的峰宽和对应合理化学意义的结合能位置 谱峰拟合——双峰拟合 而双峰拟合对于拟合p轨道、d轨道和f轨道等双峰结构的XPS峰时更有物理和化学意义，因为此时2p3和2p1有着固定的峰面积比以及峰位间距 谱峰拟合——双峰拟合 对于p、d、f轨道上两个峰的峰面积比例是多少? Mo、S混合材料，拟合分析 非线性最小二乘（NLLSF）拟合 NLSSF是一种拟合功能。这种方法除了通过线性改变因子的Intensity 强度来得到最好的拟合结果外，还可以通过shift子元素图谱的能量坐标 （非线性项）来进行优化拟合。 通过将参考谱图载入到Avantage软件中来指定其作为NLSSF分析的子元素，通过NLSSF来分析一些共混物材料，或者在一些元素的XPS峰和俄歇峰有重合时，将这些元素的XPS峰从中剥离出来，以提高定量精度。 五、应用实例分析 实例1：BN玻璃 主要含B/C/Ca/Cd/N/O/Si等7种元素 全谱扫描 精细谱扫描 1 . 0 0 E + 0 4 2 . 0 0 E + 0 4 3 . 0 0 E + 0 4 4 . 0 0 E + 0 4 402 404 406 408 410 412 414 416 418 420 Counts / s (Residuals × 2) Binding Energy (eV) Cd3d Scan 2 Scans, 1 m 20.2 s, CAE 30.0, 0.05 eV Cd3d5 Cd3d3 N1s for Nitrate 精细谱扫描 定量结果 实例2：钢铁表面钝化 全谱扫描 从全谱数据上看，材料中主要含C、O、Cr、Sn等元素 其中C是标准的污染C，主要由C-C,C-O,C=O组成 O有部分来自于有机物的O以及金属氧化物的O 20