扫描电镜原理教案分析.ppt

扫描电镜的原理及应用 一. 扫描电镜基本原理 扫描电子显微镜的成像原理： 是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。 早在1935年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理。 1938年，Von Ardenne 开始进行实验研究。 1942年，Zworykin、Hill 制成了第一台实验室用的扫描电镜，但真正作为商品，那是1965年的事。 70年代开始，扫描电镜的性能突然提高很多，其分辨率优于20nm，才广泛地被应用。 1、扫描电镜的构造和工作原理（1） 1、扫描电镜的构造和工作原理（2） 2、电子与固体作用产生的信号 3、成像原理及信号采集及应用（1） (1)表面形貌衬度原理：利用二次电子特性进行成像，二次电子数量和原子序数无明显的关系，但对微区表面的几何形状十分敏感。 3、成像原理、信号采集及应用（2） 二次电子形貌衬度的形成原理： 3、成像原理、信号采集及应用（3） 电子检测器：它由闪烁体、光电管、光电倍增器组成。 3、成像原理、信号采集及应用（4） 4、成像原理、信号采集及应用（5） 4、成像原理、信号采集及应用（6） 二. 电子探针显微分析仪基本原理 电子探针(EPMA)：它是在电子光学和 X 射线光谱学原理的基础上 发展起来的一种高效率、综合分析的仪器。 功能：在观察微观形貌的同时，进行微区成分分析