太阳能电池工艺培训资料详解.ppt

* 检验标准 当硅片从HF槽出来时，观察其表面是否脱水，如果脱水，则表明磷硅玻璃已去除干净；如果表面还沾有水珠，则表明磷硅玻璃未被去除干净。 当硅片从出料口流出时候，如果发现尾部有部分水珠，HF槽中可以适当补些HF。 去PSG原理： SiNx:H减反射膜 * SiNx:H简介 物理性质和化学性质： 结构致密，硬度大 能抵御碱金属离子的侵蚀 介电强度高 耐湿性好 耐一般的酸碱，除HF和热H3PO4 * PECVD =Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积 PECVD是借助微波使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。 PECVD * 安全事项 使用和维护本设备时必须严格遵守操作规程和安全规则，因为： 本设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆。 本设备运行时会产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波是否泄漏。 * 等离子体 等离子体:由于物质分子热运动加剧,相互间的碰撞就会使气体分子产生电离,这样物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子,电子和中性粒子组成的混合物 * ＰＥＣＶＤ设备 * ＰＥＣＶＤ的目的 1）镀减反射薄膜(SiN) 其具有卓越的抗氧化和绝缘性能,同时具有良好的阻挡钠离子和掩蔽金属离子和水蒸气扩散的能力,它的化学稳定性很好,除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外,其它酸与它基本不起作用 2）表面钝化作用 保护半导体器件表面不受污染物质的影响,半导体表面钝化可降低半导体表面态密度 3)钝化太阳电池的体内 在SiN膜中存在大量的 H,在烧结过程中会钝化晶体内部悬挂键 * ＰＥＣＶＤ的原理 3SiH4 + 4NH3 → Si3N4 + 12H2 ↑ 3SiH4 → SiH3 + SiH2 + SiH3 + 6H 2NH3 → NH2 + NH + 3H 丝网印刷与烧结 * 丝网印刷原理 丝网印刷是通过刮条挤压丝网弹性形变后将浆料漏印在需要印刷的材料上的一种印刷方式，这也是目前普遍采用的一种电池工艺。 * 电池片丝网印刷的三步骤 背电极印刷及烘干 浆料：Ag /Al浆 如Ferro 3398 背电场印刷及烘干 浆料：Al浆 如Analog pase-12 正面电极印刷 浆料：Ag浆 如Dupont PV147 * 背面电极及电场图示 * 正面栅线图示 * 丝网印刷原理 丝网印刷是把带有图像或图案的模版被附着在丝网上进行印刷的。通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成。当承印物直接放在带有模版的丝网下面时，丝网印刷油墨或涂料在刮刀的挤压下穿过丝网中间的网孔，印刷到承印物上（刮刀有手动和自动两种）。丝网上的模版把一部分丝网小孔封住使得颜料不能穿过丝网，而只有图像部分能穿过，因此在承印物上只有图像部位有印迹。换言之，丝网印刷实际上是利用油墨渗透过印版进行印刷的， * 烧结的目的 干燥硅片上的浆料，燃尽浆料的有机组分，使浆料和硅片形成良好的欧姆接触。 * 烧结对电池片的影响 相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重要很多，对电池片电性能影响主要表现在串联电阻和并联电阻，即FF的变化。 铝浆烧结的目的使浆料中的有机溶剂完全挥发，并形成完好的铝硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包，严重的会起铝珠。 背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂，它可以减少金属与硅交接处的少子复合，从而提高开路电压和短路电流，改善对红外线的响应。 * 安全事项 灼热的表面有烫伤的危险 危险电压有电击或烧伤的危险 有害或刺激性粉尘、气体导致人身伤害 设备运转时打开或移动固定件有卷入的危险 * 根据不同的电性能分档，以便于组件的制造。 测试的目的 * 1,吸收光子,产生电子空穴对 2,电子孔穴对被内建电场分离,在PN结两端产生电势 3,将 PN结用导线连接,形成电流 光生伏特效应 * 温度(T)25±2℃ 光强(E)1000±50W/㎡ 光谱分布:AM1.5 电性能测试条件 * 太阳电池电性能参数 Isc :短路电流 Voc:开路电压 Impp最大电流 Vmpp最大电压 Pmpp：最大功率 Rs：串联电阻 Rsh：并联电阻 FF：填充因子 EFF：转换效率 * Thank you! * * * * * * * * 太阳能