SilvacoTCAD工艺仿真1重点解析.pptVIP

Diffuse做氧化的例子 * Silvaco学习 * Diffuse time=30 temp=1000 f.o2=10 Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 氧化时间30分钟，1200度，干氧。 氧化时间30分钟，1000度，氧气流速10sccm。 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 tonyplot quit 干氧氧化的完整语法： 结果： 抽取特性 Deckbuild有内建的抽取功能，在ATHENA中某一步工艺之后抽取：材料厚度，结深，表面浓度，浓度分布，方块电阻等特性 由QUICKMOS和QUICKBIP可以得到一维时的器件特性，如阈值电压、一维结电容等等。 * * Silvaco学习 自动得到抽取语句 * Silvaco学习 * 抽取氧化层厚度 * Silvaco学习 * go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 sp