北京科技大学MATLAB数学实验大作业.docVIP

《数学实验》报告 ——大作业 实验名称? 金属薄膜电阻的动态监测 学 院 机械工程学院 专业班级? 姓??? 名?? 学??? 号 ?? 2015年1 月【问题引入】 薄膜的制备技术分为物理气相沉积、化学气相沉积及离子注入和激光制备等等。其中，溅射沉积是物理制备薄膜的常用方法。固体在加速的离子的轰击下，固体表面的原子被剥离，沉积在相对防止的基片上。薄膜的形成过程可分为四个阶段：临界核的形成、粒子的生长成为“岛”、岛连接形成网络结构、连续薄膜。本实验根据在薄膜形成的不同阶段中，阻值会呈现出相应的变化这一特点，在溅射沉积镀膜过程中，通过对薄膜电压（电阻）的动态监测，利用“电压（电阻）——镀膜时间”变化曲线形象地描述薄膜生长的特点。 【问题分析】 想要得到“电压（电阻）——镀膜时间”变化曲线，可以运用MATLAB多项式拟合找出最佳函数式，运用MATLAB绘图可以得出需要的曲线。 【实验数据】 t/s 152 160 168 176 184 192 200 208 216 V/mV 0.0016 0.0019 0.0254 0.0635 72.5 134.6 192.9 272.2 378.6 R/Ω 160 95 635 46.01 26.08 21.57 21.24 1