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- 2017-02-13 发布于山西
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第一章 半导体中的电子状态 本章主要讨论半导体中电子的运动状态。 定性介绍能带理论,利用Schrodinger方程 和Kroning-Penney模型近似推导关于半导体 中电子的状态和能带特点。引入有效质量和 空穴的概念,阐述本征半导体的导电机构。 最后简单介绍几种半导体材料的能带结构。 (1)有效质量引入 问题的提出 真空中的自由电子,其运动规律满足经典力学公式,而晶体中电子的加速度 原因在于周期性势场的存在。 为与经典力学一致,引入一个参量 使得 它综合了周期性势场的作用,反映了晶体中电子抵抗外场力的惯性 如此引入了有效质量后,显然可以用牛顿力学公式的形式处理晶体中电子运动问题。是否可行,关键在于它是否依附外界因素。 (2)电子运动及 的公式 理论推导可得 可见这一参量由材料的自身属性所决定。因此有效质量的引入是合理的。 (3)利用 给出的E k 表达式 (4)关于有效质量的讨论 (1) 空穴的引入 电子状态本是虚无,因为有电子它才有了实际意义。 空穴是为了处理价带中电子导电问题而引入的假想粒子。价带中每出现一个空状态(缺少一个电子)便相应引入一个空穴,并赋予其有效质量和电荷量刚好与该状态下电子的相反,即 这样引入的假想粒子——空穴,其形成的假想电流刚好等于价带中的电子电流。因此在计算半导体电流时,虽然只计算空穴电流,但实际上算的是价带中电子的电流。 (2)讨论 摆脱原有的空穴观念 半导体导电是由两种载流子运动形成的,其实质仍是电子导电 * * §1.1** 半导体的晶体结构和结合性质 Crystal Structure and Bonds in Semiconductors 学习重点: 1、晶体结构: (1)金刚石型:Ge、Si (2)闪锌矿型:GaAs 2、化合键: (1)共价键: Ge、Si (2)混合键: GaAs 1、金刚石型结构和共价键 化学键:构成晶体的结合力。 由同种晶体组成的元素半导体,其原子间无负电性差,它们通过共用一对自旋相反而配对的价电子结合在一起。 共价键 (1)共价键的特点 ① 饱和性; ② 方向性。 (2)金刚石型结构 100 面上的投影 (3)金刚石结构的结晶学原胞 Si: a 5.65754埃 Ge:a 5.43089埃 2、闪锌矿结构和混合键 材料:Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体。 化学键:共价键+离子键。 (1)闪锌矿结构的结晶学原胞 3、纤锌矿结构 ZnO、GaN、AlN、ZnS、ZnTe、CdS、CdTe。 §1.1 能带论方法简介 学习重点: 1、理解能带论的思想方法 2、掌握能带论的重要结论 §1.2 克隆尼克-鹏奈模型和能带 学习重点: 1、通过该模型理解能带 论的思想方法 2、导带、价带与禁带 哈尔滨工业大学微电子科学与技术系 简约布里渊区与能带简图(允带与允带之间为禁带) 1、克隆尼克-鹏奈模型 (1)每隔1/a的k表示的是同一个电子态; (2)波矢k只能取一系列分立的值,每个k占有的线度为1/L。 布里渊区的特征 (3)满带中的电子不导电 由于, E k E -k v k -v -k 而 I q 1×[1×V k ] 有 I A -I -A 结论:+k态和-k态的电子电流相互抵消。所以,满带中 的电子不导电。而对部分填充的能带,将产生宏 观电流。 (1)孤立原子的能级 2、原子的能级和晶体的能带 (2)晶体的能带 电子共有化运动 能级的分裂 (1)导体、绝缘体和半导体的能带模型 (2)本征激发 定义:价带电子吸收声子跃迁到导带的过程→本征激发。 3、导体、半导体、绝缘体的能带 §1.3 半导体中电子运动有效质量 §1.4 本征半导体的导电机构 空穴 空穴 电子 §1.5 回旋共振及常见半导体的能带结构 1、回旋共振现象 则, 上式代表的是一个椭球等能面。为了形象而直观地表示E k -k的三维关系,我们用k空间中的等能面反映E k -k关系。 2、三维情况下的E k -k关系和等能面 §1.5 回旋共振及常见半导体的能带结构 3、回旋共振频率的理论推导 4、n型硅的回旋共振实验结果分析 5、Si、Ge和GaAs能带结构的基本特征 (1)Si、Ge能带结构及特征 Si的能带结构 Ge的能带结构 *
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