三坐标测量机及其应用资料.ppt

第八章 三坐标测量机及其应用 主 要 内 容 §1 概述 §2 三坐标测量机的类型和组成 结构类型和组成（主机机械系统） 部分三坐标测量机的性能指标见表8—2所示 §3 三坐标测量机的测量系统 (1)机械接触式测头 触发式测头 当触发式测头的测端触碰到被测工件时，测头发出触发信号。其核心是判断接触与否，类似电子开关的工作性质，故又称开关测头。实现此功能的方法有电子机械开关的通断、压电晶体的压电效应和应变片的形变等。 1.机械触发机构 2.感应接触形变的应变片 3.压电传感器 ( 2)光学非接触测头 光学非接触测头 光学点位测量头 在成像光路中插入一遮光片，其位置正好挡住激光器光束的半个光斑，此时，若被测面仍位于物平面A处，则光电检测器的差动输出仍然为零，而当被测面离焦位于A1位置时，在光电检测器上的像为半圆形光斑，如图1中的B1所示，而当被测面离焦位于A2位置时，在光电检测器上的像如图1中的B2所示。由图可知，离焦方向不同时，光电检测器上的光斑或位于光轴的上方或下方，半光斑的直径随离焦量的增大而增大，此时光电检测器的差动输出不再为零，输出信号的极性决定于离焦的方向，输信号的大小决定于离焦量的大小。由此可见，可根据光电检测器的差动输出判断被测表面的位置，光电检测器差动输出的过零点即