第二章 激光干涉测量技术.pptVIP

3. 激光小角度干涉仪 原理: 利用激光干涉测位移和三角正弦原理 角锥棱镜2与反射镜5的作用: 使测量光束按原路返回，不产生光点的移动，保证干涉图形相对接收元件的位置保持不变。 角锥棱镜在位置Ⅰ和位置Ⅱ的光程差为 位移为 则被测角度为 改进:为消除偏心和轴系晃动等误差，并提高灵敏度，在对称直径位置上布置两个角锥棱镜 测量范围：±1°以内，最大测量误差± 0.05 ″ 为扩大量程，采用移动式转向反射镜，测量范围可达95°,测量精度±0.3″ * 傅立叶变换光谱仪 【补】 按照分光原理，光谱仪器可分为三类： 棱镜光谱仪、光栅光谱仪、干涉光谱仪 基于干涉原理的典型光谱仪器：法珀干涉仪、傅立叶变换干涉仪 法珀干涉仪的缺点：自由光谱范围小，需要与单色仪联合使用，分辨率高 色散型光谱仪的缺点：自由光谱范围大，但分辨率较低，为保证光谱分辨率，色散型光谱仪必需使用狭缝，这样导致光谱仪的分光本领减小，光谱仪检测的灵敏度降低。 干涉仪产生的干涉条纹是光谱相干涉的结果，能否利用干涉条纹的信息去获得相干光谱的信息？也就是从分析干涉条纹得到参与干涉的光谱线的位置（波长）及其强度呢？ 光谱仪器把被研究的辐射分解为光谱，记录单条谱线的位置，并测量其强度。 对于单色光谱： 对于复色光谱： 复色干涉图是单色干涉图的加合。由于零程差时各单色光的干涉强度都为极大值，其它光程差时各单色光相长或相消，加合的结果形成一个中心