2完整版电容式传感器课程设计指导.doc

引 言 硅压力传感器具有精度高、稳定性好等优点，在工业中广泛应用。但是，由于硅材料本身的限制，使其无法用于高温和腐蚀等特殊环境中。而陶瓷电容式压力传感器采用特殊陶瓷材料制作，具有抗腐蚀、耐高温等优点，弥补了硅压力传感器的上述缺点，可用于高温、腐蚀等特殊环境下。现今，国内有大量的需求，但是还没有国内厂家能够生产。因此，开发出一种实用的陶瓷压力传感器具有非常重要的现实意义。 陶瓷压力传感器通常采用多电容结构，在陶瓷膜片上同时烧结两个电容，一个作为参考电容， 以消除温度对传感器输出的影响；另一个为测量电容，其变化量与传感器所受压力的变化量近似成正比，通过检测变化量就能得到传感器所受的压力。 1 电容式传感器设计的目的与任务 1.1电容式传感器设计的目的 ⑴ 巩固所学知识，加强对传感器原理的进一步理解； ⑵ 理论与实际相结合，“学以致用”； ⑶ 综合运用知识，培养独立设计能力； ⑷ 着重掌握典型传感器的设计要点，方法与一般过程； ⑸ 培养学生精密机械与测控电路的设计能力。 1.2电容式传感器设计的要求 ⑴ 设计时必须从实际出发，综合考虑实用性、经济性、安全性、先进性及操作维修方便。如果可以用比较简单的方法实现要求，就不必过分强调先进性。并非是越先进越好。同样，在安全性、方便性要求较高的地方，应不惜多用一些元件或采用性能比较好的元件，不能单纯考虑简单、经济； ⑵独立完成作业。设计时可以收集、参考传感器同类资料，但必须深入理解，消化后再借鉴。不能简单地抄袭； ⑶在课程设计中，要随时复习传感器的工作原理。积极思考。不能直接向老师索要答案和图纸。 ⑷设计传感器测头机械机构方案，绘制总装图（CAD为工具），编写传感器设计说明书。 2 传感器设计方案的选择 设计一台电容式传感器 设计要求如下： ⑴量程范围：0～25Mpa ⑵工作电压 5V ⑶相应时间 1ms ⑷稳定性 0.2% ⑸温度范围 -40～125℃ ⑹抗绝缘性 2KV ⑺相对误差 1% ⑻张力 S=100×10N/m 一种测量介质介电常数变化的电容式传感器结构如图。设电容器极板面积为S，间隙为a，当有一厚度为d，相对介电常数为r的固体介质通过极板间隙，相当于电容串联，因此电容器的电容值为： （2-1） 其中为灵敏度因子，随间隙比d/(a-d)增大而增大。为非线性因子，随间隙比d/(a-d)增大而减小。 ⑵ 若传感器保持r不变，改变介质厚度，则可用于测量介质厚度变化，此时 其中，，为灵敏度因子和非线性因子。 ⑶ 若被测介质充满两极板间，则d=a，此时初始电容为 若，则,即 可见， 与r成线性关系。测量液体介质介电常数的变化即属此情况，如测原油含水率。 3 传感器机械设计各部分参数的确定 3.1 平行板电容器介质厚度（极板间距离）的确定 它是由电场来决定的，即 （3-1） 式中 δ——极板间距离（mm） ——工作电场强度（Kv/mm） ——工作电压（V） 对于直流，脉冲或功率不大的交流电容式传感器，应该首先根据介质的瞬时耐压强度，确定工作电场，这是现根据下式确定电容的测试电场强度，即 (3-2) 式中 ——介质的平均瞬时耐压强度 ——测试电场强度时的安全系数 对于介质厚和极板面积小的电容器选取≥2，当介质和面积较大时，选取=4，再根据下式确定: （3-3） 式中 ——测试场强安全系数，一般选=1.5—3 将上述两式代入得： （3-4） 3.2电容式传感器极板面积的确定 由可得： （3-5） 式中 ——初始电容为 ——常数 （3-6） 3.3电容式传感器极板半径的确定 由公式得： （3-7） 式中 s——张力 P——量程范围P=25Mpa （3-8） （3-9） 求得实际 （3-10） 3.4电极金属材料选择的原则 (1)电阻率小 (2)材料对介质的化学作用和化学老化和催化作用小 (3)价格低 (4)力学性能好，压延性好，柔韧，机械强度高 (5)导热系数和热容量大 (6)密度小 (7)容易焊接 (8)熔点和沸点适当 常用金属材料有银，铜，金，铝，青铜，铅等。 4电容式传感器结构的设计 电容式传感器的结构很简单，通常是由动极板和固定极