激光干涉仪规范.docVIP

机械工程综合实践 实验报告 课程名称 机械工程综合实践 专 业 精密工程 指导教师 彭小强 小组成员 刘强 谌贵阳 吴志明 实验日期 2012.4.2—2011.6.25 国防科学技术大学机电工程与自动化学院 目 录 1激光干涉仪 1.1激光干涉仪介绍 1.2激光干涉仪原理 2 激光干涉仪测量机床的直线度 2.1实验器材以及平台的搭建 2.2激光干涉仪的调试 2.3直线度的测量 3 激光干涉仪测量机床的重复定位精度 3.1实验器材以及平台的搭建 3.2激光干涉仪的调试 3.3重复定位精度的测量 4 实验分析与总结 目录 一、实验目的与任务 2 二、实验内容与要求 2 三、实验条件与设备 2 四．实验原理 3 1.定位精度测量 3 2.直线度测量 4 五、实验步骤 5 1.设定激光测量系统 5 2.调整激光光束，使之与机器运动轴准直。 5 3.数据记录与数据处理 6 六、实验过程和结果 8 1.X轴定位精度 8 2.X轴直线度 9 3.误差分析 11 七、实验总结与体会 14 1.实验总结 14 2.实验心得体会 14 3.对课程的一些建议 1