4第四章常用传感器3资料.ppt

4.7光栅式传感器 一、概述 1.光栅： 是一种在基体上刻制有薄间距均匀分布条纹的光学元件。用于位移测量的光栅称为计量光栅。 基体有玻璃、金属等。 玻璃：没有刻线的地方透光，刻线处发黑不透光。 金属：没有刻线的地方反光，刻线处发黑不反光。 如透射光栅的示意图，图中a为刻线宽度，b为缝隙宽度，形成黑白相间的细小条纹。a+b=W称为光栅的栅距(也称光栅常数)。通常情况下a=b或a:b=1.1:0.9。线纹密度一般为每毫米100、50、25和10线。 例如，50线/mm,即W＝0.02mm，a＝b＝0.01mm 光栅传感器又称光栅读数头，主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成图c)。标尺光栅的有效长度即为测量范围。必要时，标尺光栅还可接长，以扩大测量范围。指示光栅比标尺光栅短得多，但两者刻有同样栅距。使用时两光栅相互重叠，两者之间有微小的空隙d(取d=W2／λ，λ——有效光波长)，使其中一片固定，另一片随着被测物体移动，即可实现位移测量。 2.光栅式传感器的特点 （1）精度高 长度测量：高达0.5～3um，即k％＝1.7x10-7％，行程为1m时分辨率高达0.05um。 角度测量：分辨率可达0.1‘‘，误差为0.15‘‘。 在长度测量方面仅次于激光干涉式传感器，在角度测量方面精度是最高的。 （2）可实现动态测量 （3）抗干扰能力强。 比激光干涉式强，但低于磁栅，油污、灰尘