3.2电容式传感器资料.ppt

第四章 电容式传感器 电容式传感器是将被测物理量转换为电容变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、物位、压力、成份分析、介质特性等方面的测量。 基本工作原理及分类 以平行板电容为例（如图4.1），如果不考虑其边缘效应，其电容量为 （4.1） 式中： ——极板间介质的相对介电常数，空气介质 ； ——真空介电常数 ； ——二平行极板覆盖面积； ——极板间距离。 显然，电容量 是 、 、 的函数。如果保持其中两个参数不变，只改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化。因此，电容式传感器分为极距变化型，面积变化型，介质变化型三类。 在实际使用中，通常保持其中两个参数不变，而只变其中一个参数，把该参数的变化转换成电容量的变化，通过测量电路转换为电量输出。 电容式传感器可分为三种： 变极板间距离的变极距型 改变极板面积的变面积型 改变介质介电