3.5电容式传感器资料.ppt

3.5 电容式传感器 概述 电容式传感器是实现非电量到电容量转化的一类传感器。 可以应用于位移、振动、角度、加速度等参数的测量中。 由于电容式传感器结构简单、体积小、分辨率高，且可非接触测量，因此很有应用前景。 3.5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为： 式中： ε——电容极板间介质的介电常数， ，其中ε0为真空介电常数，εr为极板间介质相对介电常数； A——两平行板所覆盖的面积； d——两平行板之间的距离。 保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 3.5.1电容式传感器的工作原理和结构 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 在实际使用时，电容式传感器常以改变平行板间距d来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积A的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。 3.5.1电容式传感器的工作原理和结构 1. 变极距型电容传感器 下图为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为d0时，其初始电容量 为： 3.5.1电