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簡介半導體材料與元件之電性量測 南台科技大學 光電工程系 吳坤憲 Semiconductor Material Device Characterization Physical and Chemical Characterization SIMS AES ESCA AFM RBS SEM TEM Electrical Characterization I-V C-V Four-Point Probe Hall Measurement PD Measurement 半導體製程常用之物理量測分析儀器 元件電特性量測 一、電容-電壓量測  (Capacitance-Voltage Measurement) 1.????? P-N 接面 2.????? 金-半接面 3.????? 金-氧-半電容 二、電流-電壓量測(Current-Voltage Measurement) 1.????? 元件之電流-電壓特性曲線 2.????? 二極體之理想因數 3.????? 半導體材料之能隙 4.????? 金-半接面之蕭特基位障高 5.????? 金-氧-半場效電晶體之通道 移動率 及轉導 6.????? 金-氧-半場效電晶體之次臨 界斜率 三、四點探針法 (Four Point Probe) 1.????? 電阻率 2.????? 雜質濃度 四、霍爾量測(Hall Mea