第六章 扩散与固态相变 本章内容 ? 扩散的表象理论(1) ? 扩散的热力学(2) ? 扩散的原子机制(3) ? 影响扩散的因素(4) ? 扩散的应用(5) ? 固态相变简介(6) §6. 1 表象理论(Phenomenological laws) 6.1.1 菲克第一定律(Fick’s first law) 6.1.2 菲克第二定律(Fick’s second law) 无限大物体的模型(两个不同成分材料焊接一起) 6.1.3A 扩散方程的解I----无限大物体 半无限大物体的模型(恒浓度气氛中掺杂) 6.1.3B 扩散方程的解II----半无限大物体 6.1.3C 扩散方程的解III----衰减薄膜源(双侧面) 6.1.3D 扩散方程的解IV----衰减薄膜源(单侧面) 衰减薄膜源的浓度分布与时间的关系 硅基体上掺硼过程 § 6. 2 扩散的热力学分析(P290-291) 1. 化学势: 2
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