《检测技术与自动化装置》CH3电容式传感器.pptVIP

第三章 电容式传感器 学习要求： 1、掌握变极距、变面积、变介质电容式传感器的工作原理，特点及应用。 2、熟悉常用电容式传感器的常用检测电路及特点。 3、学习应用电容式传感器。 电容式传感器 电容式传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容变化量的一种传感器。实际上,它本身（或/和被测物）就是一个可变电容器。 被测量的变化? 电容式传感器? 电容量的变化 被测量：位移、压力、厚度、物位、湿度、振动、转速、流量及成份分析等, 精度可达 0.01%，250mm量程可达5um。 电容式传感器作为频响宽、应用广、非接触测量的一种传感器，是很有发展前途的。 3.1 电容式传感器的工作原理及类型 当被测参数变化使得式中的S、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 因此，电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。其中变极距型和变面积型应用较广。 3.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 3·2·1 变极距电容式传感器 当电容器板间极距d 缩小Δd，电容器增