第二节光栅与电子细分合编.pptVIP

* 第二节 光栅与电子细分 光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种计量光栅，多用于位移测量及与位移相关的物理量如：速度、加速度、振动、质量、表面轮廓等方面的测量。按光栅的形状和用途分为长光栅和圆光栅，分别用于线位移和角位移的测量。按光线走向分为透射光栅和反射光栅。 一、光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和指示光栅)和光电接收元件组成。 在长度计量中应用的光栅通常称为计量光栅，它主要由主光栅(也称标尺光栅)和指示光栅组成。 当标尺光栅相对于指示光栅移动时，形成的莫尔条纹产生亮暗交替变化。利用光电 接收元件将莫尔条纹亮暗变化的光信号，转换成电脉冲信号，并用数字显示，便可测量出标尺光栅的移动距离。 光源： 光栅副： d 在一块黑白型长光栅尺上平行等距的刻线称为栅线。设其中透光的缝宽为a，不透光的缝宽为b，一般情况下光栅的透光缝宽等于不透光的缝宽，即a＝b。 d＝a+b称为光栅栅距(亦称光栅节距或称光栅常数)。光栅栅距是光栅尺的一重要参数。刻线密度一般为每毫米10、25、50、100线。 光电元件：光电池、光敏三极管 二、莫尔条纹形成的原理 栅线之间保持很小的夹角θ 横向莫尔条纹的斜率为： 横向莫尔条纹之间的距离为： 光栅移动一个栅距,莫尔条纹移动一个条纹宽度 三、莫尔条纹技术的特点 (1) 由式(7-5)可知，虽然光栅常数