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MEMS机油压力传感器可靠性研究 1引言MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的压力传感器。目前已有多种MEMS压力传感器应用到了汽车电子系统中，如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力、汽车胎压压力等。其中机油压力传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要传感器，其可1 引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的 HYPERLINK /tech/cgq/200010150001/17231.html \t _blank 压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的压力传感器。目前已有 HYPERLINK /tech/tx/200010390009/27364.html \t _blank 多种MEMS压力传感器应用到了汽车 HYPERLINK /tech/dr/200010060034/324094.html \t _blank 电子系统中，如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力、汽车胎压压力等。其中机油压力传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要传感器，其可靠性直