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透射电镜的结构 透射电子显微镜中，物镜、中间镜，投影镜是以积木方式成像，即上一透镜的像就是下一透镜成像时的物，也就是说，上一透镜的像平面就是下一透镜的物平面，这样才能保证经过连续放大的最终像是一个清晰的像。在这种成像方式中，如果电子显微镜是三级成像，那么总的放大倍数就是各个透镜倍率的乘积。 透射电镜的构造 三级放大成像 透射电镜的放大倍数 总放大倍数M总＝M物×M中×M投 物镜成像是分辨率的决定因素 物镜放大倍率，在50-100范围； 中间镜放大倍率，数值在0-20范围； 投影镜放大倍率，数值在100-150范围 总放大倍率在1000-200,000倍内 透射电镜的构造 成像系统补充说明： 由物镜、中间镜(1、2个)和投影镜(1、2个)组成。 成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。 通过调整中间镜的透镜电流，使中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，可在荧光屏上得到衍射花样。 若使中间镜的物平面与物镜的像平面重合则得到显微像。 透射电镜分辨率的高低主要取决于物镜 。 3.观察和记录系统 透射电镜的构造 该系统由荧光屏、照相机、数据显示等组成．在分析电镜中，还有探测器和电子能量分析等附件 真空系统 真空系统由机械泵、油扩散泵、换向阀门、真空测量仪及真空管道组成。它的作用是排除镜筒内气体，使镜筒真空度至少要在10-4 pa以上。如果真空度低的话，电子与气体分子之间的碰撞引起散射而影响衬度，还会使电子栅极与阳极间高压电离导致极间放电，残余的气体还会腐蚀灯丝，污染样品。 透射电镜的构造 为了保证电子运动，减少与空气分子的碰撞，因此所有 装置必须在真空系统中，一般真空度为10-2～10-4Pa。 利用场发射电子枪时，其真空度应在10-6-10-8Pa左右。 可采用机械泵，油扩散泵，分子泵等来实现。 目的：延长电子枪的寿命，增加电子的自由程，减少电 子与残余气体分子碰撞所引起的散射以及减少样品污染。 电源系统：需要两个独立的电源，一是使电子加速的小电流高压电源；二是使电子束聚焦与成像的大电流低压磁透镜电源。 透射电镜的构造 加速电压和透镜磁电流不稳定将会产生严重的色差及降低电镜的分辨本领，所以加速电压和透镜电流的稳定度是衡量电镜性能好坏的一个重要标准。透射电镜的电路主要由高压直流电源、透镜励磁电源、偏转器线圈电源、电子枪灯丝加热电源，以及真空系统控制电路、真空泵电源、照相驱动装置及自动曝光电路等部分组成。另外，许多高性能的电镜上还装备有扫描附件、能谱议、电子能量损失谱等仪器。 安全系统 总调压变压器 真空电源系统 透镜电源系统 高压电源系统 辅助电源系统 透射电镜的构造 电源系统可分为： 透射电镜成像原理 物平面 像平面 频谱面 白光光源 透镜的成像作用可以分为两个过程： 第一个过程是平行电子束遭到物的散射作用而分裂成为各级衍射谱，即由物变换到衍射的过程； 第二个过程是各级衍射谱经过干涉重新在像平面上会聚成诸像点，即由衍射重新变换到物(像是放大了的物)的过程。 晶体对于电子束就是一个三围光栅。 近代高性能电镜一般都设有两个中间镜，两个投影镜。三级放大成象和衍射成象示意图如下页所示： （a）高放大率 （b）衍射 物 物镜 衍射谱 一次象 中间镜 二次象 投影镜 选区光阑 在电子显微镜中，物镜产生的一次放大像还要经过中间镜和投影镜的放大作用而得到最终的三次放大像。三次放大图像的总放大倍率为：　　　　M总=M物M中M投 电子衍射 概述 电子衍射基本公式和相机常数 选区电子衍射 常见的几种电子衍射谱 电子衍射花样的标定 概述 电镜中的电子衍射,其衍射几何与X射线完全相同,都遵循布拉格方程所规定的衍射条件和几何关系. 因此,许多问题可用与X射线衍射相类似的方法处理.即 电子衍射与X射线衍射相比的优点 电子衍射能在同一试样上将形貌观察与结构分析结合起来。 电子波长短，单晶的电子衍射花样婉如晶体的倒易点阵的一个二维截面在底片上放大投影，从底片上的电子衍射花样可以直观地辨认出一些晶体的结构和有关取向关系，使晶体结构的研究比X射线简单。 物质对电子散射主要是核散射，因此散射强，约为X射线一万倍，曝光时间短。 * 材料化学研究法 第三章:电子显微技术 透射电子显微镜（TEM） 扫描电子显微镜（SEM） X-射线能谱（EDS） 原子力显微镜（AFM） 扫描隧道显微镜（STM） 电子显微镜 (electron microscope，EM) 一般是指利用电磁场偏折、聚焦电子及电子与物质作用所产生散射之原理来研究物质构造及微细结构的精密仪器。 电子显微最新定义为一项利用电子与物质作用所产生之讯号