MEMS技术在制冷红外探测器中的应用.docVIP

MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用 ? 慧聪网???2005年3月3日14时39分???信息来源：半导体技术 ???网友评论 0 条 ?进入论坛  ? 1 引言 ??? 微电子机械系统(MEMS)技术作为一项新兴的微细加工技术，已开始在各领域应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等优点，在红外探测技术领域也有非常广泛的应用前景，将为该领域的研究提供一条更新的途径。将MEMS技术用于非制冷红外探测器的研制能够使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度阵列集成和低成本、可批量生产等方向发展，并有可能利用该技术制造出具有全新机理的非制冷红外探测器。 ??? 红外探测器是红外仪器中最基本的关键部件，是红外装置的心脏。红外技术的发展水平，是以红外探测器的发展为主要标志的。，60年代以前，红外探测器主要为单元探测器，实现红外成像需要二维光机扫描；70年代出现线列多元红外探测器，实现红外成像只要一维光机扫描；进入80年代以后，开发了焦平面器件，可以不用光机扫描，直接凝视成像。但由于一直以来，量子型红外系统必须低温制冷才能获得所希望的系统应用性能，而这种要求带来了系统可靠性和成本昂贵等问题，使其应用受到很大的限制。近年来，随着各种新技术的研发，特别是MEMS技术的应用，使得可在室温下工作的非制冷红外探测器的整机性能及