电子显微与扫描探针相关技术3.ppt

3.3 散射（质量－厚度）衬度图像分析基础 散射衬度图像是试样上各部位对电子束散射能力差异所形成的结果。 散射能力与试样的厚度（t）、原子量A（原子序数Z）、密度（ρ），以及试样对电子的散射截面σα（α为物镜光栏所限制的孔径角）有关。 参与成像的电子束强度 I 可以表示为： 式中 k：常数; σα : 散射截面; t: 厚度; A: 原子量; ρ: 密度. 图像上相邻点的反差决定了成像电子束强度差（G）可表示为： 在薄膜试样中，可简化为： 从成像电子束的强度差（G）表达式可以分析图像上的衬度与试样微观结构的关系。 1.3. 1 图像衬度与试样原子序数的关系 物质对电子的透明系数1/μ可表示为: 当试样相邻部位的厚度相同时将 代入G表达式 由该式分析，图像衬度是由试样各处对电子的透明系数不同而确定的。 透明系数由原子序数所决定，原子序数越大散射电子的能量越强，在明场中参与成像的电子越少,荧光屏上相应位置越暗?. 暗场像则相反? 相反原子序数越小，荧光屏上相应的位置就越亮。 暗场像则相反 试样上相邻部位的原子序数相差越大电子图像上的反差越大。 3.3.2 图像衬度与试样厚度的关系 当试样上相邻两部分物质种类核结构完全相同，只是电子穿越的试样厚度不同， G表达式 可简化为： 3.3.3 图像衬度与物质密度的关系