电子探针显微分析方法.pptVIP

引言 重要性： 电子探针是材料研究中非常有用的仪器，可以解决材料显微结构－配方－工艺－性能关系的许多关键问题。是新材料研制和材料改性的主要研究手段之一。材料研究者必须学习这类现代仪器的基本原理、用途、测试方法、显微结构及数据分析方法，才能对结果作出正确解释。 应用：高校、科研单位、工厂实验室及在线检测等得到了广泛应用。 主要内容 基本概念(显微结构、分辨率、有效放大倍率、工作距离、检出角、标准样品、标准方法等） 分析原理 仪器构造 分析方法 EPMA概述 电子探针英文缩写为EPMA (Electron Probe X-ray MicroAnalyser)。一种电子束显微分析的仪器，是通过电子束激发试样微区产生的二次电子、背散射电子、及X射线等信息，进行试样表面形貌观察及成分分析。成分分析主要用波谱仪（WDS：Wavelength Dispersive Spectrometer ），也可以用能谱仪（EDS： Energy Dispersive Spectrometer)进行成分分析。 最近国际标准化组织（ISO)微束分析标委会正在制定一个电子探针名词术语国际标准，该标准由美国和中国提出，草案已经提出三年，现在正在投票中，国家标准也在同步采标。国际标准对EDS、EDX、EPMA有明确的定义。 EDX： Energy Dispersive x-ray spectrometry：能谱学