高真空的获得和检漏案例.doc

高真空的获得和检漏 11系07级 昝涛 P实验目的： 1、用机械泵、扩散泵机组获得高真空 2、用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理： 1、 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子，电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p，故产生的正离子数N＋正比于压强p.规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由发射电子的热阴极（灯丝）、加速并收集电子的加速极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线图如图2.6.3－2所示,规管中心热阴极F接零电位,为UK为热阴极加 热电压；加速极G接正电位UG（几百伏）;离子收集极接负电位UC（几十伏）,其作用是使由阴极F发射的电子,在加速电位UG的作用下,飞向G极使电子能量增加,大部分电子通过加速极G飞向圆筒型收集极C,电子轨迹如图2.6.3－3所示,在G、C之间拒斥场的作用下电子减速，在速度减到零时，电子返转飞向G，在电子飞向G、C空间时,电子又在拒斥场作用下减速,直到速度为零又返向G极，向G、C方向飞行.电子在这种返往运动中与气体分子不断发生碰撞，把能量传给气体分子，使其电离,而电子最终被加速极所收集；在G、C间产生的正离子被收集极C接收形成离子流，此离子流被外电路中的微安计测得。 对于一定结构的