材4料工程基础讲稿30.pptVIP

2）化学气相沉积类型 按化学反应分，有三种方法： (1) 热分解法：如CH4(气)→C(固)+2H2(气) 典型的是羰基物热分解，由金属羰基化合物加热分解制 取粉末。关键环节—制备金属羰基化合物[Me(CO)n]。 过渡族金属与一氧化碳生成羧基化合物，具有低的液体 挥发或固体升华温度。 工业中主要用羰基物热分解法来制备镍粉和铁粉两大类 金属粉末：纯度高、粒度细。 羰基镍粉的制取过程，合成羰基镍： Ni(固)+4CO→Ni(CO)4(气) 放热反应，提高压力和升高温度促进羰基反应；但超过 一定限度，促使逆反应—羰基镍分解的发生。供给的热量 包括反应的焓变?H(反应热)和气相Ni(CO)4温度升高吸收 的热量两部分。分解反应开始后，镍粉的形成就按原理中 的四步过程进行。通过控制热解器温度、Ni(CO)4气相浓 度和反应气压力，可获得不同粒度的粉末。提高热解温 度，增大气体浓度有利于细粉的获得。 (2)气相还原法： 分为气相氢还原和气相金属热还原。 还原剂：H2或低熔点、低沸点的金属如Mg、Ca、Na等。 反应物：低沸点的金属卤化物。 气相氢还原法的反应通式： MeCln+H2→Me+HCl 为得到粉末沉积物需满足：气体分压和反应温度。如氢 还原钨粉，H2与WCl6反应温度在9OO℃以下时，有镀膜金属 钨出现，高于此温度，则膜状钨消失，全