测控仪器设v计课件第3章(1.2.3节).ppt

第二，在光电光波比长仪中，光电显微镜、固定参考镜和干涉系统的分光镜三者之间的相对位置，要求严格保持不变。因此布局上把这三者都装在与基座相连的构件上。由于基座变形稳定不变，故这三者之间相对位置也保持稳定不变。从而保证了测量精度。 第三，前面提到，床身2是通过三个钢球支承在基座3上的。这三个钢球的支承，其支承座结构各不相同。一个支承座是平支承面5（布置在后面），前面两边的两个，其中一个是圆锥形球窝支承面6，另一个是V形槽支承面4。V形槽的方向与基座纵方向相平行。采用这种支承座结构后，床身一经放到基座上，就符合定位原则。这时，床身在纵向、横向及转角方向均无需再加诸如螺钉、夹板等的限制，避免产生不良的约束所带来的附加内应力。此外，如果温度有所变化，这种结构也并不限制床身相对于基座的自由伸缩，所以也不会因热变形而带来内应力。这种设计，既能自动定位，又无附加内应力，在有些资料中，把它称之为无附加内应力的自动定位设计，或称为符合运动学原理的设计。作为一种设计原理，在仪器设计中应用很广。 2．减小热变形影响的技术措施 减小热变形影响的技术措施有： 采用恒温条件，以减小温度变化量 ； 选择合适的材料，以减小线膨胀的影响，或选用线胀系数相反的材料在某些敏感环节上进行补偿； 采用补偿法补偿温度变化的影响，如测出被测件与标准件的温度 和 ，查得被测件与标准件的线胀系数 与 ，则温度误差的修正公式为 （3-6） 式中，L为被测件的标准长度。 也可采用实时补偿法，例如： 1)．如丝杠动态测量仪，由于温度的影响，被测丝杠将伸长或缩短，此外，当环境温度、气压、湿度偏离标准状态时，激光波长也将发生变化，这些都将带来测量误差。因此，可以采用在激光一路信号中增减脉冲数的办法来进行补偿的方案。在补偿时， ① 先测出环境的温度、气压和湿度， ② 再计算出每米需累积补偿量 ， ③ 再计算每米补偿量的脉冲数 ，1m长度内的激光脉冲数为 ，则每隔 脉冲，对激光一路增减一个脉冲信号。 图3—14 分频补偿原理 1—分频器 2—补偿器 3—与门 2)． 扩散硅压力传感器零点温漂的补偿 扩散硅压力传感器是在硅材料的基片上，用集成电路的工艺制成扩散电阻并 组成桥路。由于采用了半导体材料的扩散技术，不可避免地产生了如下问题： 扩散电阻的离散性很大，桥路的四个电桥臂阻值R1≠R2≠R3≠R4； 扩散电阻的各个电阻温度系数不等，即 ； ③扩散电阻随温度的非线性变化。因此，将产生严重的各不相同的零点温度漂 移和灵敏度温度漂移。 为了解决扩散硅压力传感器零点温度漂移的补偿，提出了串并联、双并 联、双串联等几种补偿方案。 三、测量链最短原则 测量链定义：仪器中直接感受标准量和被测量的有关元件，如被测件、标准件、感受元件、定位元件等均属于测量链。 在精密测量仪器中，根据各环节对仪器精度影响程度的不同，可将仪器中的结构环节区分为测量链、放大指示链和辅助链三类。 测量链的误差对仪器精度的影响最大，一般都是1:1影响测量结果。因此，对测量链各环节的精度要求应最高。 因此测量链最短原则显然指一台仪器中测量链环节的构件数目应最少，即测量链应最短。因此，测量链最短原则作为一条设计原则要求设计者予以遵守。 四、 坐标系统一原则 以上设计原则，一般都是从某台仪器自身结构布局和变形特性出发考虑的。而坐标系统一原则,则是对仪器群体之间的位置关系,相互依赖关系来说的,或主要是针对仪器中的零件设计及部件装配要求来说的。 对零部件设计来说，这条原则是指：在设计零件时，应该使零件的设计基面、工艺基面和测量基面一致起来，符合这个原则，才能使工艺上或测量上能够较经济地获得规定的精度要求而避免附加的误差。 例如，图3－18所示的零件，两个直径d1及d2的设计基面及工艺基面均为中心线OO。在测量时，若用顶尖支承进行（见图3-18），则测量基准和设计基准、工艺基准重合，此时能真正地反映d2的圆柱度等加工误差。但若以d1的外圆柱面为测量基准时（见图3-19），则d1的形状误差也就反映到测量结果中，带来附加的测量误差。 图3—18 顶尖支承法测径向圆心晃动 图3—19 V形支承法测径向圆心晃动 对仪器群体之间（主系统与子系统之间）的位置关系,相互依赖关系来说,