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净化空调系统中的过滤器选择原则探讨摘要：介绍洁净度级别和过滤器效率，将净化厂房分为3个级别：100级、10000级、100000级。从两个方面分析了空气净化系统的过滤器组合对洁净度和过滤器寿命的影响，针对目前出现的问题进行了分析，提出了相应的对策。?关键词：过滤器；滤器效率；洁净度；终阻力；沉降粒子；浮游粒子?0·引言?随着大规模、超大规模集成电路集成度的不断提高，在影响成品率的诸多原因中尘埃导致的比例不断增大，同时足以使电路芯片短路报废的尘埃粒子的直径也必然越来越小。在净化间的一些技术参数如：洁净度、温湿度、气流组织、化学污染的含量、正压值等中间，空调系统的过滤器组合与厂房的洁净度有密切的关系。选择合理的空气过滤器效率级别和空气过滤器的组合对保证厂房的洁净度级别、减少过滤器更换频度、增加过滤器的寿命、降低运行成本有着重要的意义。本文在分析洁净度级别的标准和评价过滤器技术参数的基础上，对我公司所做工程首钢前工序百级净化间的空气净化系统的过滤器使用状况进行了分析，并提出相应的改进措施。?1·洁净度级别及过滤器效率?1.1洁净度级别?国内外有代表性的划分洁净度级别的制度有两种：英制和公制。?英制有美国联邦标准209、美国国家航空和宇宙航行局NASA标准、最新美国联邦标准FS2?0?9?D。?公制有英国标准BS5295、前苏联标准ГCTII-1?7?0-0?5?0.0?0?l-7?3、联