半導体stepper维修手册.docVIP

目录 兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1修理操作的先决条件 1.2使用工具 照明系统修理程序 2.1超高压汞灯电源异常 2.2照明均匀性异常和曝光功率降低 硅片传输系统的修理程序 3.1硅片传输系统的真空异常 OF检测失灵 3.3预对准工作异常 3.4上下片臂定位不良 （以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册） 修理操作前的各项准备工作 1.1修理操作的先决条件 能进行操作和精读检验 能够使用示波器 照度计等测量仪器 注意事件：抽出电路板时，请先关断电源 拿起电路板时请勿用手指接触链接点 打开或关断控制单元电源时，先将控制计算机正确关闭 对光学系统进行清洁处理时，请务必戴上洁净手套 1.2使用工具 使用工具一览表 工具 备注 硅片镊子 示波器 需用具有两路以上输入，频带尽可能宽 电路板调整用转插板 清洁处理用布 洁净手套或指套 工业用显微镜 水平仪 分辨率达到2分 注射器 数字万用表 测试掩模版 塑料棒 卷绕清洁用纸，作为棉球棒使用 柔光照明灯 六角起子，调整起子，十字起子 需符合操作对象的螺栓螺母尺寸 电位器调整起子 专用起子 消耗品一览表 消耗品 备注 丙酮 乙醇 清洁用纸 润滑脂 PL-035 润滑油 Aero-shell