新建年产3000吨电子级多晶硅建设项目可行性研究报告.doc

目 录 第一章 总论 1 1.1概述 1 1.1.1项目名称、主办单位、建设地点 1 1.1.2编制依据和原则 1 1.1.3项目提出的背景及投资的必要性 2 1.2项目建设的有利条件 5 1.2.1xxxxxx概况 5 1.2.2项目区水资源概况 6 1.2.3供电情况 7 1.2.4当地交通运输现状 7 1.3项目研究范围 8 1.3.1工艺生产装置 8 1.3.2辅助生产装置 8 1.3.3公用工程设施 8 1.3.4其它 9 1.4项目投资 9 1.5项目主要经济技术指标 9 第二章 市场预测 11 2.1产品用途 11 2.2市场预测分析 12 2.2.1国外市场分析 12 2.2.2国内市场分析 14 2.3产品市场价格分析 17 第三章 生产规模和产品方案 19 3.1生产规模 19 3.2产品方案 19 第四章 工艺技术方案 21 4.1工艺技术方案的选择 21 4.1.1工艺技术概况 21 4.1.2工艺技术方案的确定 22 4.1.3工艺流程 23 4.2工艺装置 24 4.2.1 三氯氢硅车间 24 4.2.2氯硅烷提纯车间 29 4.2.3多晶硅车间 32 4.2.4高纯多晶硅后处理工序 36 4.2.5硅芯制备工序 38 4.2.6氢气制备及净化车间 38 4.3 产品产量和原材料、辅助材料及公用工程消耗定额及消耗量 40 4.3.1产品