原创力文档- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第八节小尺寸测量.ppt
§2-8 小尺寸测量 本节主要内容 一、光衍射法测量金属丝直径 二、激光能量法测量光纤直径 三、磁头与磁盘间隙的测量方法 四、小球径的测量：原理、特点、精度。 一、光衍射法测量金属丝直径 细丝直径Φd为：d=kλl/Sk 细丝直径的极限测量误差 Δdlim为： 二、激光能量法测量光纤直径 光纤本身就相当于曲率很大的柱面透镜。 为提高测量的灵敏度，将透过分光镜1后的全部能量充分地用于光纤的光束扩展，透镜2最好将激光束会聚成小于光纤直径的光点照到光纤上，因此它的焦距很短，只有5mm左右，可根据被测光纤的直径大小选取。 这种方法的测量精 度可达 1% 左右。 三、磁头与磁盘间隙的测量方法 磁盘与磁头之间间隙的一般在2-6μm之间，比较先进的计算机,头盘间隙已达小于1μm的数量级。测量原理如图2-62所示。 四、小球径的测量 特点：非接触测量，精度较高，原理误差为λ/2。 原理：如图2-63所示。利用测量表面粗糙度的干涉显微镜，将被测球径与量块直接比较，可测高精度的球径d。 * * 如图示2-61所示。 此法的测量精度较高，取决于波长的检定精度和的读数瞄准精度。实践证明，其极限测量误差≤± 0.2um。 采用两种波长（λ１，λ２）的光源，测出两组干涉条纹 的尾数差Δm，便可按下式计算出间隙值h。 N、ΔＮ--两次测量中，零级干涉带在条纹垂直方向上以条纹的整数和小数表示的偏离量； 方法要点： （1）零级干涉带位置的确定； （2）确定上述公式的正负号。 1. 用干涉显微镜测球径
文档评论（0）