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X射线光电子能谱分析 XPS XPS—X-rays Photoelectron Spectroscopy ESCA—Electron Spectroscopy for Chemical Analysis 1.X射线光电子能谱仪发展历史 爱因斯坦：光电效应 50年代，K.Siegbahn研制成功XPS谱仪 60年代，发展成为商用仪器 主要：PHI公司，VG公司，Karatos 公司 发展方向：单色化，小面积，成像XPS 2.仪器功能与特点： （1）定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素。灵敏度约0.1at%。 （2）定量分析--根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量。误差约20%。 （3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化学状态分析功能。 （4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。 （5）结合离子溅射可以进行深度分析。 （6）对材料无破坏性。 （7）由于X射线不易聚焦, 照射面积大,不适于微区分析。 能量关系： Hν = Eb+Φs+Ek’+Er Eb-电子结合能（以费米能级为零点） Φs-样品材料的功函数 Ek’-电子刚逸出表面时具有的动能 Er –出射电子的反冲能 由于样品与能谱仪接触，产生接触电势差，而在样品表面与能谱仪之间产生电场，使光电子射出后在此电场中