第4章TEM.ppt

第4章 透射电子显微镜 4.1 电子波的波长 一 提高显微镜分辨率的方法 在光学显微镜中，由于衍射效应，一个理想的物点经过透镜成像时，在像平面上不是形成一个像点，而是形成具有一定尺寸的Airy斑。 光学显微镜的分辨率r的上限约为波长的一半，即r≥l/2，半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最短波长是390nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率是200nm左右。 提高显微镜分辨率的关键是降低照明光源的波长。 紫外光的波长在13nm~390nm之间，比可见光的波长短很多，但是大多数物质都强烈吸收紫外光，很难作为照明光源。 X射线的波长更短，但还没有使X射线改变方向、发生折射和聚焦成像的物质，即没有X射线的透镜，X射线也不能作为显微镜的照明光源。 除了电磁波外，在物质波中，电子波不仅波长短，而且存在使电子波发生折射和聚焦的物质，所以电子波可以作为照明光源，由此形成电子显微镜。 二 电子波的波长 根据德布罗意(de Broglie)的观点，运动的电子除了具有粒子性外，还具有波动性。 电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即：l=h/mv h为普朗克常数，m为电子质量；v为电子运动速度， v和加速电压U之间的关系为： 当电子运动速度较低时，m接近电子静止质量m0 (9.1×10-31kg)；当电子运动速度很高时，必须用相对论校正。 可见，波长l与电压U成反比。加速电压U越高，则电子运动速度v越大，电子波长l就越短。 4.2 透射电子显微镜的结构及工作原理 一 透射电子显微镜的结构 (Transmission Electron Microscope, TEM) 一般由电子光学系统(镜筒)、真空系统、电源和控制系统组成。 真空系统用于维持镜筒的真空度在10-4mmHg以上，以确保电子枪电极间的绝缘，防止成像电子在镜筒内受气体分子碰撞而改变运动轨迹，减小试样污染。 电子光学系统是透射电子显微镜的核心部分。 二 电子透镜的作用 TEM是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领和高放大倍数的电子光学仪器。 电子波不能通过玻璃透镜会聚成像，但用轴对称的非均匀电场和磁场可以将电子束聚焦。 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜，用静电场构成的透镜称静电透镜，用电磁线圈产生的磁场构成的透镜称电磁透镜。 电子透镜相当于光学玻璃透镜。 1 静电透镜 电子在电场中运动，受电场力作用，发生折射。 将两个同轴圆筒带上不同电荷，弧形的电力线方向由高压方指向低压方。在垂直于电力线的方向画出等位面(虚线)，其形状和凸透镜相似。 散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用，在等电位面处发生折射并汇聚于一点。这样就构成一个最简单的静电透镜。 电子显微镜中的电子枪就是一个静电透镜。 2 电磁透镜 电子在磁场中运动时，如果电子运动方向与磁感应强度方向不平行，就会产生一个与运动方向垂直的力(洛仑兹力)，使电子运动方向发生偏转。 利用电磁线圈激磁的电磁透镜，通过改变激磁电流可以调节透镜焦距和放大倍数，所以在电子显微镜中广泛采用电磁透镜。 电磁透镜的焦距总是正值，电磁透镜只有凸透镜，没有凹透镜。 电磁透镜在许多方面优于静电透镜，尤其是其不易受高电压的影响。 三 电子光学系统 1 照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 (1) 电子枪 电子枪是透射电子显微镜的电子源。常用的是热阴极三极电子枪，由钨丝阴极、栅极和阳极组成。 (2) 聚光镜 聚光镜广泛采用电磁透镜，汇聚电子枪发射的电子束，以最小的损失照明试样，调节照明强度、孔径角和束斑大小。 现代电镜一般都采用双聚光镜系统。 2 成像系统 主要由物镜、中间镜和投影镜组成。 (1) 物镜 物镜是形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。 透射电子显微镜的分辨本领主要取决于物镜。只有被物镜分辨出来的结构细节，通过中间镜和投影镜放大，才能被肉眼看清。如果试样的结构细节未被物镜所鉴别，中间镜和投影镜只把这个仍然模糊的细节继续放大。 欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁、短焦距的物镜。 物镜是一个强激磁短焦距的透镜，它的放大倍数较高，一般为100~300倍。目前，高质量物镜的分辨率可达0.1nm左右。 (2) 中间镜 中间镜是弱激磁的长焦距变倍透镜，能放大物镜的像或缩小物镜的像。 在TEM操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率控制电镜的放大倍数。 当电子穿越试样后携带试样的结构信息，沿各自不同的方向传播(如当存在满足布拉格公式的晶面组时，可能在与入射束成2q角的方向上产生衍射束)。 物镜将来自试样不同部位、传播方向相同的电子在其背焦面上会聚为一个斑点，沿不同方