200CX操作使用图解.doc

JEM－200CX透射电镜使用 上海大学分析测试中心电镜室 注意事项 1．非本实验室职工，未经同意不得随便进入电镜机房； 2．进入机房者必须更换工作服和拖鞋，上机者须保持室内卫生整洁； 3．除记录本和笔外，非实验用个人物品不得放于机房内； 4．未有上机操作证和未预约者，不得擅自使用本仪器和触动仪器任何开关和旋钮； 5．在室内学习、实习、委托分析等人员不能随意拿、动室内物品，不得大声喧哗和聊天。 操作规程 开机（由管理员或授权者完成，一般使用者不需要操作） 钥匙旋至ON，等待READY和AIRLOCK OPEN绿灯亮，并且高真空指针进入绿区，约需要45分钟以上时间。 换装样品及旋转样品操作 1.确认样品台装卸时的状态：样品台位置回零，倾转回零；物镜光栏、选区光栏退出。 2.灯丝发射关至OFF；按下高压80KV键，再按HT键关高压。 3.卸下样品台：握住样品台手柄，直外拉到拔不动（中途切勿松手，以防样品台被真空吸回发生撞击导致损坏），逆旋90度至不动，直拔出。 4.装样品，并检验样品被牢固固定。 5.检查样品台“O”型环上是否有细毛等脏物。握住样品台手柄，使销钉对准槽直插入，手指稍用力顶住手柄后端，至阀门开启，红色指示灯亮后松手，等待约3 分钟，指示灯灭后，握手柄顺90度（切勿松手），随着吸力慢送样品台入镜筒。 6．倾转样品台：用脚踏板倾转样品过程中动作要轻，并注意查看倾转角度，且勿倾斜至限定角度后仍继续踩。 三.发射电子束 确认READY和AIRLOCK OPEN绿灯亮； 确认高真空指针进入绿区； 3．加高压：按下HT键后，80－100－120－160kV依次缓慢按键，并注意观察束流表指示是否正常。 4．加灯丝电流：将FILAMENT EMISSION 钮慢顺时针旋至锁定位置。 四. 找薄区 移动样品找亮，可参考SPECIMEN POSITION样品位置指示，样品薄区（孔洞）出现后，用CONDENSER钮调光斑大小（亮度），若光斑偏离荧光屏中心，用左右ALIGNMENT TRANS将光斑拉回中心。 五. 图像调节 加物镜光栏（可提高图像对比度）：按下SA DIFF钮进入衍射模式，根据需要加适当大小的物镜光栏，调光栏位移钮使光栏孔与透射斑同心，若光栏孔边缘模糊，调SA/HD DIFFRACTION中的CAMERA LENGTH 小旋钮聚焦光栏孔边缘。完成后切换至MAG模式。 调放大倍率：MAG模式下用MAGNIFICATION CONDENSER调；SA MAG下用SA/HD DIFFRACTION中的MAGNIFICATION调；在MAGNIFICATION CAMERA LENGTH上显示倍率和相机长度。 调焦距：用FOCUS 的MEDIUM和FINE调，可结合IMAGE WOBBLER图像摇摆器辅助调焦；也可按下45˙荧光板控制钮使荧光板抬起，用双筒望远镜观察细调。 电压中心调节（大于10万倍照像时做） 1）．确认束斑已对中。 2）．样品位置适当， ＞3万倍, 用双筒望远镜找一小点为参照物并移至屏中心，聚焦。 3）．HV WOBBLER 置于ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，若参照物漂移，则用左右ALIGNMENT TILT 调节，使参照物不偏离中心。 4) 调好后HV WOBBLER 置于OFF。 物镜消像散（大于10万倍照像时做） 1）．确认仪器对中状态良好，电压中心对中。 2）．在 ＞10万倍下，找一小圆孔或非晶膜薄区。 3）．用双目镜观察；MEDIUM、FINE钮改变焦距，观察边沿条纹是否均匀或非晶小颗粒是否变形。若有像散，则进行如下调节。 4）．用OBJ STIGMATOR：X、Y钮和FOCUS 钮配合调节，消像散。 六．选区衍射操作 将欲分析区域移至屏中心，聚焦。 加选区光栏 ：SA MAG模式下，找到感兴趣的样品位置，移至屏中心，聚焦； 顺旋插进选区光栏（依样品位置大小而选相应光栏号）,用选区光栏调节钮调正； 3．切换到SA DIFF 模式；撤出物镜光栏。 4. 相机长度，并用CAMERA LENGTH 小钮聚焦到中心斑最小。 5. CONDENSER钮调光斑亮度合适，中心斑不要太亮以防烧焦荧屏；用挡针挡住中心斑。 6. 物镜光栏、选区光栏、聚光镜光栏退出与插入操作动作相反。 七、明暗场像 1．在键BRIGHT 亮状态下，用左右ALIGNMENT TRANS 将光斑移至屏中心。 2．在键DARK 亮状态下，用左右DARK FIELD TRANS 将光斑移至屏中心。 3．反复步骤1、2，至光斑不偏离屏中心。 4．BRIGHT 亮状态下选区衍射，并用左右ALI