应变位移传器.docVIP

计量测试与检定 维应变式位移测振传感器 机械结构的设计 王新。余晓芬 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥 230009) [摘要]应变式传感器由于自身具有的灵敏度、测量精度和可靠性高、动态响应快、抗干扰性强等特性，已经在很 多领域广泛应用。文章中设计的三维位移振动传感器采用的是半导体应变式，在机械结构上架构了测量三维振动的空 间体系，其对称型机构能消除部分误差，主要应用在测量微振动和低频振动上，而且在微型化方面取得了很大的进 步。 [关键词]三维测振；应变式；微型式；微振动 [中图分类号]TH82 [文献标识码]B [文章编号]1002—1183(2007)03—0001—03 M echanical Structure Design of Strain Sensor for Measurement of Tridimensi0nal Vibration W ANG Xin， Y U Xiao—fen (School of Instrumentation and Optoelectronic Engineering，He University of Technology，Hefei 230009，China) Abstract：Owing to high sensitivity，measuring accuracy and rehability，fast dynamic response，and strong anti—jamming of strain sensor，it has been widely applied in many fields．Three dimensional semiconductor strain displacement vibration sensor was designed．In Mechanical structure，space system for measurement of three-coordinate vibration was constructed．Some er— rots can be eliminated because of its symmetrical mechanism．It is mainly applied in measurement of micro Vibration and low frequency vibration．1arge progress has been gotten in microminiaturigation． Key words： measurement of three dimensional vibration； strain； micr0min turigation； micro vibration 科技的不断进步伴随着人们对科技产品的精密度 要求越来越高，同时对微工作台及精密加工的要求越 来越高，但在实际加工的过程中，虽然能够隔离高频 信号，而对低频信号却无法有效地抑制，因为在加工 过程中无法准确地测得低频信号。本文中设计的传感 器就是针对这个方面应用的。现在测量一维振动的传 感器很多，采用的方式也很多，但是应用在微振动和 低频振动的却比较少，而测量三维振动的传感器就更 不多了。现有的测量三维瞬间振动和低频振动的测振 仪，主要应用在爆破测试方面，而测三维加速度的传 感器，测量和记录三个方面的冲击振动，主要运用在 公路运输和货物运输等方面。这些三维测振传感器主 要是压电式，测高频振动和瞬间冲击的效果很好，但 在测微振动方面效果就很差，上文中得到的传感器所 能测的最小振幅才1．6mm，而且相对来说体积又比 较大，差不多有1in ，几千克重，因此就不能对微振 动方面进行测量。 本文所设计的三维振动位移传感器采用的是半导 体应变式，因为半导体应变片作为力敏器件的一种， 其自身具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳 定性好、功耗低、寿命长、抗干扰性强、可靠性高等 优点，能有效地测量微振动和低幅振动，而且体积比 较小，小于0．3m3，基本上实现了微型化，可以应用 在一些需要测量三维振动的微工作台和精密加工等方 面[ 。 l 传感器机械结构上的设计 在机械结构的空间设计上，三维互相对称的结构 保证了三维测量的情况尽量接近l2 J。其结构如图1所 示。在设计中，主要考虑了以下几个方面：一是振子 的平衡问题；二是振子的振动特性；三是如何能同时 测量三个方向上的振动情况而各个方向却互不影响； 四是片簧以及弹簧对振子的影响。振子的平衡采用了 [收稿日期]2006—12—10 [作者简介]王新(1981一)，男，安徽黄山人，硕士研究生，毕业于合肥工业大学，研究方向为精密仪器和机械。 工业计量2007年第17卷第3期 ·1· 三