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3. 电容式传感器的应用 * * 4.4 电容式传感器 采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。 被测信息 敏感元件 转换元件 辅助电源 信号调理电路 输出信息 电容元件 电容元件 实际上是一个 具有可变参数 的电容器 电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、物位、压力、成份分析、介质特性等方面的测量。 学习要点 1.掌握电容式传感器的类型（根据工作原理）、特点及其应用； 2.了解电容式传感器的测量电路； 3.了解电容式传感器的特点； 4.了解电容式传感器的应用 1. 工作原理及类型 用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时其电容C为： A δ ε δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 变面积型 电容式传感器 变极距型 变介质型 （1） 极距变化型 变极距型传感器常常是一块极板固定而使另一块极板移动，从而改变极距?以引起电容的变化。 + + + + + + 因此电容器传感器的灵敏度为： 灵敏度与极距的平方值成反比，极距越小时灵敏度越高。 为减小非线性误差，该类传感器通常用于测量微小位移。 为减小非线性误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作以便获得近似的线性关系。一般取极距变化范围为 减小δ可以提高灵敏度。但δ过小易导致电容器击穿。可在极间加一层云母片或塑料膜来改善电容器耐压性能。 为提高灵敏度和减小非线性，以及克服某些外界条件（如电源电压、环境温度等），常采用差动式结构。 在零点位置上设置一个可动的接地中心电极，它离两块极板的距离均为 设可动极板上移 ，则 增大， 减小。 电容的总变化量为： 灵敏度为： 可见，采用差动式电容传感器，灵敏度提高一倍，非线性得到改善。 变极距型差动电容传感器 （2） 面积变化型 A ) 角位移式电容传感器 可见，电容值与角位移 呈线性关系。 此时，传感器的灵敏度k为： 当两极板相对角位移为 时， B ) 直线位移式电容传感器 当两极板相对距离为x时，电容量： 传感器的灵敏度为： C ) 圆柱体线位移式电容传感器 随动板圆柱的位移，定板圆柱与动板圆柱之间的覆盖面积发生变化，从而电容量发生变化。 两个同轴圆筒电极组成的电容器，其电容值为： 当覆盖长度变化时， 通过A）B）C）的分析可得出结论：变面积式电容传感器的灵敏度为常数，即具有良好的线性，但灵敏度较变极距型低。大多数用来检测较大直线位移及角位移等参数。 变面积式电容传感器也采用差动形式，可使灵敏度提高一倍。 （3） 介质变化型 当电容式传感器中的电介质改变时，其介电常数变化，从而引起了电容量发生变化。 这类传感器常用做检测容器中片状材料的厚度、液面高度等，也可用来测量介质材料的湿度、介电常数等。 A ) 电容测厚仪 C0 C1 C 这种传感器的电容量等于两个电容 和 相串联 此时 为空气相对介电常数， 为待测体的相对介电常数，当厚度 不变时，此电容传感器可作为介电常数测量仪。 如果待测体的介电常数 不变时，可作测厚仪使用。 B ) 电容液面计 两个同轴圆筒电极组成的电容器，其电容值为： 这类传感器常常采用同轴圆筒电极组成的电容器作为测量装置。 设容器中介质是不导电液体（如果是导电液体，则电极需绝缘） 总的电容 相当于上方气体介质间的电容量 和液体介质间电容量 之和（相并联）。 可见，同轴圆筒电容传感器的电容量与液位成线性关系。 C1 C C2 电容式传感器的电容值一般十分微小，不便于直接显示、记录和传输。因此，必须借助于测量电路检测出这个微小的电容变量，并转换为电压、电流或频率信号。 2. 电容式传感器的测量电路 与电容式传感器配用的测量电路很多，常用的有桥式电路、调频振荡电路、运算放大器式电路和脉冲调宽型电路等几种。 （一）? 交流电桥 U i 交流 放大器 相敏 检波器 低通 滤波器 Z1 Z2 Z3 Z4 电容传感器阻抗 电桥初始平衡条件： 当被测参数引起传感器阻抗变化 时， 代入初始平衡条件，化简： 对于电容传感元件来说，有如下关系： 变压器式交流电桥 Cr1 Cr2 USC U 变压器电桥使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。 差动式电容传感器接入变压器式电桥，当放大器输入阻抗极大时，对任何类型的电容式传感器，电桥输出电压与输入位移均成线性关系。 （二） 调频振荡电路 这种电路是把电容传感器作为振荡器电路的一部分，当被测量变化而使电容量发生变化时，能使振荡频率发生相应的变化。由于振荡器的频率受电容传感器的电容调制故称为调频电路。 这种电路具有抗干扰性强，灵敏度高等优点； 但缺点是电缆电容的影响较大。 （三）? 运算放大器电路 当运放的输入阻抗很高，增益很大时，认为输入电流