PVD涂层-(中文)答题.ppt

* PVD COATING PROCESS 东宇热处理工业（株） Arc PVD Coating 概要 利用PLASMA在TARGET表面使用ARC，E-Beam，Direct heating 等蒸发金属物质后增加加速Bias电压在产品表面蒸着的真空法。 Titanium(Ti) is vaporized, ionized and accelerated in one step by the arc, e-beam, direct heat. Reactive gas is added to the metal ions and ionized. All ions are accelerated towards the workpiece by the BIAS voltage Target Cathode N2 Reactive gas Workpiece TiN Ti+ Ti++ 0 ~ -1000V BIAS Voltage BIAS Voltage Vaporization, ionization Solid Target( Ti ) Ti++ Ti++ Ti+ Ti+ 0 ~ ? Arc E-beam Direct heat Heated ion cloud = Plasma 东宇热处理工业（株） PVD Coating 特征 ● 高硬度 （High Hardness） ● 高密度的组织 （Dense Structure） ● 平滑表面 （Smooth Surface） ● 低磨擦率 （Low Friction Coefficient） ● 化学 稳定性及无反应性 ● 低热传导 （Low thermal comductivity) ● 密着特性 （Excellent adhesion) 涂层膜 颜色 硬度(Hv) 耐磨性 耐蒸着性 耐腐蚀性 耐散化性 使 用 TiN 金色 ~2,500 ★★ ★★ ★★ ★★ 切割工具，金属，技能型配件，装饰 TiAlN 黑色 ~3,000 ★★★ ★★ ★★ ★★★ 切割工具 CrN Metal ~2,000 ★ ★★★ ★★★ ★★ 金属, 机械配件(耐腐蚀性) Coating 膜 种类及特性比较 东宇热处理工业（株） 离合器 PUNCH 立端刀, 滚刀等 膜厚度 : 3 ? 化妆品MIX 涂层膜种类 : TiN 备注 : 应用现有 Cr涂金?因磨损 Cr成分对人体有影响 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-TiN 材质 : SKD11 膜厚度: 3 ~4? 涂层膜种类 : TiN 用途 : 汽车离合器 材质 : SKD11 膜厚度: 3 ? 涂层膜种类 : TiN 用途 :立端刀等 切割工具 电子配件制陶术粉末ＰＵＮＣＨ ＰＵＮＣＨ类 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-TiN 材质 : ＨＳＳ 膜厚度: 3 ? 涂层膜种类 : TiN 备　注 : 未涂层时划痕涂层后提高１０倍以上的寿命效果。 材质 : ＨＳＳ 膜厚度: 3 ~4? 涂层膜种类 : TiN 备　注 : 涂层后提高寿命效果。 东宇热处理工业（株） 工具类(钻孔机) 指甲修整用,砂纸切断用金属 Circular Saw Blade PVD 涂层应用事例-TiAIN 材 质 : HSS 膜厚度：3~4 ? 涂层膜种类：TiAIN 材 质 : HSS 膜厚度：3~4 ? 涂层膜种类：TiAIN 备 注：可以处理直径 550mm为止 材 质 : HSS 膜厚度：3? 涂层膜种类：TiAIN 东宇热处理工业（株） 普通钢板弯曲用Die(1.3t) PVD 涂层应用事例-CrN 材 质 : SKD11 膜厚度：5? 涂层膜种类：CrN 备 注：应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层 普通钢板弯曲用Die(1.3t) 材 质 : SKD11 膜厚度：5? 涂层膜种类：CrN 备 注：未涂层时100个左右,涂层时可以加工数万个 CROSS MBR STEELS (LH, 1.4t) CROSS MBR STEELS (RH, 1.4t) 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 材 质 : SKD11 膜厚度：5? 涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化+涂层） 备 注：完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系数低) 材 质 : HK700 (SKD11 类似钢种– 铸钢) 膜厚度：5? 涂层膜种类：CrN（