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第8章 压电式传感器 5.3.1 压电效应和压电材料 正压电效应:对某些电介质，当沿着一定方向对它施加压力时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，它又重新恢复为不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。 5.3 压电传感器 1.压电效应 此过程表现为机械能转化为电能。 晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。 逆压电效应：电介质的极化方向上施加交变电场，它会产生机械变形，去掉外电场，变形消失。 此过程表现为电能转化为机械能。 由此可见，压电效应属于可逆效应。 具有压电效应的电介质物质称为压电材料，大多数晶体都有，但很微弱。 2. 压电材料 常见的压电材料可以分为压电晶体和压电陶瓷两大类，前者是单晶体，后者是多晶体。 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。 （1）石英晶体 常见的有天然和人造石英晶体（SiO2），还有酒石酸钾钠（NaKC4H4O6·4H2O），铌酸锂（LiNbO2）等。 （2） 压电陶瓷 a.钛酸钡压电陶瓷 由钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和氧化钛（TiO2）在高温下合成。 特点：属单晶体结构，压电常数大，温度稳定性好，机械性能优良（强度高，固有振荡频率稳定），时间稳定性好。 c．铌酸盐系压电陶瓷 b．锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT） 锆钛酸铅是由钛酸铅（PbTiO2）和锆酸铅（PbZrO3）组成的固溶体Pb（ZrTiO3）。 铌酸盐系压电陶瓷是以铌酸钾（KNbO3）和铌酸铅（PbNbO2）为基础制成。 除了以上几种压电材料，近年来，又出现了铌镁酸铅压电陶瓷（PMN），具有极高的压电常数，居里点为260℃，可承受700kg/cm2的压力。 特点：属多晶体结构，压电常数比石英晶体高，但介电常数、机械性能不如石英晶体好。品种多，性能各异，可根据各自的特点制作不同的压电传感器。 3. 石英晶体的压电效应 图1 石英晶体 (1)结构：单晶体结构，六角形晶体，各向异性。 放在三维坐标系中考虑： Z轴： X轴： 光轴，无压电效应 电轴，经过正六面体棱线，垂直于光轴。 FX-Q纵向压电效应。 Y轴： 机械轴，垂直于晶体横截面多边形各条边和光轴。 FY-Q横向压电效应。 （2）计算： a.沿电轴X方向施加作用力FX ，则厚度变形，有 b.沿机械轴Y方向施加作用力Fy ，则长度变形，有 （与尺寸无关） （与尺寸有关） （3）分析： 电偶极矩： P=ql （q：电荷量，l：正、负电荷之间的距离） （矢量） 方向：由负电荷指向正电荷。 无压力时： P1+P2+P3=0 加FX时： （P1+P2+P3）≠0 PX≠0, Py=0, PZ=0 加Fy时： （P1+P2+P3）≠0 Py≠0, PX =0, PZ=0 （纵向压电效应） （横向压电效应） 加FZ时： 正、负电荷对称平移，正、负电荷中心始终保持重合，电偶极矩在X、Y方向的分量为零。所以无电荷，无压电效应。 4. 压电陶瓷的压电效应 (1) 结构： 人造多晶体，各向同性。 在极化处理以前，各晶体粒内电畴按任意方向排列，自发极化的作用相互抵消，所以压电陶瓷内极化强度为零。 故压电陶瓷必须进行极化后才有压电效应，其压电系数为石英晶体的几百倍，并且压电陶瓷在使用过程中需要定期（通常是半年）进行灵敏度校正，保证其测量精度。 （2）计算： Q=d33F （3）分析： 图2 压电陶瓷的极化过程和压电原理图 5.3.2 压电式传感器等效电路和测量电路 1. 压电器件的串联与并联 图3 压电元件的串联和并联接法 (1)串联： Q∑ = Q U∑ = NU C∑ =C/N 串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以电压为输出量及测量电路输入阻抗很高的场合； (2)并联： Q∑ = NQ U∑ = U C∑ =NC 并联接法输出电荷大，本身电容大，因此时间常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量作为输出的场合。 预应力 可以把压电传感器等效为一个与电容相并联的电荷源，如图4（a）所示。压电传感器也可以等效为一个电压源和一个电容相串联的等效电路，如图4（b）。 2. 压电式传感器的等效电路 图4 压电传感器的等效电路 Q=CaU U=Q/Ca 图5 压电传感器的实际等效电路 工作时，压电元件与二次仪表配合使用，必定与测量电路相连接，这就要考虑连接电缆电容Cc、放大器的输入电阻Ri