JYCL100250磁控自动流水线.docVIP

JYC-100250-3型卧式磁控溅射镀膜设备技术方案 -、主要技术指标 1、有效可镀区面积:1000mm (宽)X2500mm (长)X3~12mm厚 出炉30天内无霉变的玻璃 2、本底真空:2X10-3pa 3. 真空室渗漏量:系统抽真空达到极限真空后，关闭所有阀门，l 小时后真空室压强小于4Pa, 4. 靶尺寸:1200 X 264mm共5条 5. 配大功率磁控电源:60KW有利镀膜稳定共5套 6.生产节拍周期:约1.3min (镀单质膜) 7.冷却水耗量; 25-30m3/h(循环) 8. 压缩空气:0.5-0.8MP; 9. 设备装机总功率:约480KW/平均使用功率约200KW 二、设备主要配置 型 号 JYC-1000-3型卧式磁控溅射镀膜生产线 适用范围 适用于塑料、玻璃等材质平板面或小弧度的表面镀制单层或多层金属膜 主要技术参数 镀膜室极限真空：3.5×10－3Pa； 前后过渡室极限真空：5×10－3Pa； 前后进出口室极限真空：8×10－1Pa； 工件走速：0~3m／min 变频调速； 装机功率：约235KW； 有效可镀工件最大尺寸：1000×2000mm。 结构形式 采用积木式结构，水平连续生产。设备主要由七个真空室组成：一个进料室（粗抽室）、一个前过渡室、一个前缓冲室、三个镀膜室（3节）、一个后缓冲室、一个后过渡室、一个出料室（粗抽室），