椭偏仪测量薄膜厚度和折射率教程范本.docVIP

实验:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率 随着现代科技的快速发展，薄膜材料的研究和应用受到越来越多的关注。如何快速准确的测量薄膜材料的厚度和折射率等光学参数成为急需解决的问题之一。椭圆偏振法是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法，这种方法测量灵敏度高(可探测小于0.1nm的厚度变化)、精度较好(比干涉法高一到两个数量级)、对待测样品无损伤并且能同时测量薄膜的厚度和折射率。因而，目前椭圆偏振法已经在光学、半导体、生物、医学等诸方面得到较为广泛的应用。 实验目的： 了解椭圆偏振测量的基本原理，掌握利用椭偏仪测量薄膜厚度和折射率的基本方法。 学会组装椭圆偏振仪，熟悉椭圆偏振仪使用。 实验原理： 椭偏法测量的基本思路是，起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后椭圆偏振光，把它投射到待测样品表面时，只要起偏器取适当的透光方向，被待测样品表面反射出来的将是线偏振光．根据偏振光在反射前后的偏振状态变化，包括振幅和相位的变化，便可以确定样品表面的许多光学特性 图1光在薄膜和衬底系统上的反射和折射 图1所示为一光学均匀和各向同性的单层介质膜．它有两个平行的界面，通常，上部是折射率为n1的空气(或真空)．中间是一层厚度为d折射率为n2的介质薄膜，下层是折射率为n3的衬底，介质薄膜均匀地附在衬底上，当一束光射到膜面上时，在界面1和界