光电光电检测技术及应用 第5章.pptVIP

设光斑形状为弥散圆，在探测器四象限Ⅰ、 Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ上所占的面积分别是S1、S2、S3、 S4，光斑直径为d，光斑中心为O‘。光斑的光密 度均匀，光斑相对探测器中心O的偏移OO’＝ρ 可用直角坐标（x，y）表示。测量范围ρmax＜ d。将探测器各象限的输出信号按图连接，得到 输出信号电压的表达式为： 5-26） 上式中 K是和光束的直径与功率有关的变换系数。 和差电路的特点是测量灵敏度较高，非线性 影响较小，对目标光斑的不均匀性适应性较强， 适用于高精度的定位测量。但信号处理电路复 杂，需要进行多次和差运算。各环节性能的差异 会引起测量误差。 （2）直差电路 图5-36给出了直差电路的连接方法。器件 象限坐标线和基准线间成45°角安装。各象限 间的连接按对角线方向相减。 图5-36 四象限探测器的直差连接 测量装置输出信号的表达式为： （5-27） 该种方式的电路简单，但非线性和灵敏度 相对较低。