各种断线的分析.pptxVIP

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  • 2016-12-11 发布于河南
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各种断线的分析天龙光电闵超题纲压线断线晶棒中间部位断线无固定位置断线收线轮断线导轮原因压线断线1.1、压线断线分为假压线和真压线两种 在这两种情况下真压线的断线率要假压线的高。其主要原因是在钢线本身,还有一种可能是断线后采用反切方法排线不真确也会产生。晶棒中间部位断线2.1、晶棒本身的原因。如硬点。 硬点的在多晶内部经常出现的一种物质对切片的本身会有一定的影响。在断线出会出现很多不规则的才破裂,硬点处常常会伴有线痕。2.2、由于导向条原因断线。使用导向条的原因是为了便于切割和避免条线。但是由于导向带来的断线也有是会出现。在粘棒的过程中导向条不是按照晶棒的中心等边粘贴的在切割的中形成的线弓,而线弓的中心不和晶棒的中心重合造成了线弓的两端角度不同从而影响钢线的受力。钢线长时间在同一处受力,应力集中产生断线。无固定位置断线3.1砂浆断流 在硅片的切割过程中,砂浆和钢线起着决定性的作用。砂浆断流引起的断线多数出现在硅片将要切割完毕时发生。使用MB机器是机器的砂浆系统有一个弊端。在砂浆系统中如果出现程序中砂浆流量程序过度太急促会引起短时间的砂浆断留,这时候钢线和晶棒之间是干摩擦温度十分的高,金属由于瞬时高温会产生热疲劳从而形成短线。3.2导向条 在切割的过程中,当钢线切到晶棒时,导向条的作用也就失去了,由于被切成了很小的薄片他会混合在砂浆中,随着砂浆在钢线上附着有时会卡在钢线上造成断线。3.

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