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真空系统组成元件 真空系统组成元件 真空泵 真空测量与控制器件 1. 真空阀门 2. 连接导管 3. 捕集器 4. 其它组成元件 1 真空阀门 1.1 概述 1.2 真空阀门的典型结构 1.3 真空阀门的设计 1.1 概述 真空阀门： 在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。 真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定,可查阅有关标准。 JB/T7673-1995 真空设备型号编制方法 JB/T6446-2004 真空阀门 例：GDQ-J320 真空阀门在系统中的作用 开关气路: 控制气流流动路线 控制气流大小，调节真空度： 定量充气： 真空阀门的分类 通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，见表1. 1.2真空阀门的典型结构 隔膜式真空阀 利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。 如图3所示,转动手轮可带动阀杆上、下移动,使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。 此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜,适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜,可用于高真空系统,使用温度范围为-30～150℃。 真空球阀 图4所示是真空球阀的结构,该阀中的密封机构是由两个环状弹性体紧压于一个金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔,借助于手柄