TFT-LCD工作原理论述.pptVIP

成像保证 ? 2.精确成像保证系统 成 像 ? 1. TFT Pattern 成像系统 UM（Ultra Mirror） 检测装置 修正装置 光源系统 MAINBODY的功能以及硬件实现： 精确 成像 MAINBODY的功能就是将MASK上的图像精确的投射在glass上的光刻胶上， 使其感光，为了保证这个功能的实现， MAINBODY对应配置了两大系统。 MAINBODY概述 集成mask stage和plate stage,还有一系列的检测及补偿器件， 这里是进行曝光的地方。 三、光刻设备简介 Aligner 三、光刻设备简介 Aligner 本系统有三个主要组成部分： LAMP HOUSE(灯房):在灯房 里边装有8kw的水银灯，负责 提供曝光光源。 导光通道：将灯房的光导入 曝光机MASK Stage部分。 光学转换系统：这里将光转换 成弧形以适应曝光的需要。 光源系统 TFT Pattern 成像系统 光源系统的光学构成 Condense Lens 集光 Fly eye Lens 将光散射，使其均匀 Flat Mirror 改变光路 ellipse Mirror 椭圆反射镜 聚光用 Condense Lens 第一次聚光镜 Seal Glass 密封玻璃 防止光学 系统的氧化 Relay Lens 防止光扩散 Seal Glass 密封玻璃 防止光学 系统的氧化 field Lens 物镜 Condense Lens 第二次聚光镜 三、光刻设备简介 Aligner UM（Ultra Mirror）：成像 结构及其功能： 梯形反射镜 ：改变光路 凸面反射镜 ：改变光路 凹面反射镜 ：会聚光路 将MASK上的图案会聚投射到plate上。 凸面镜 梯形反射镜 三、光刻设备简介 Aligner A 偏差检测设备 ： (1) Mechanical pre ； (2) Laser interference meter (3) A / S ; (4) Z - sensor 下面从检测设备（A）和补偿设备（B）这两个方面来说明： 三、光刻设备简介 Aligner Mechanical pre Mechanical pre 分布 功能与及结构： 功能：感知玻璃基板在plate stage上 的位置，通过换算得到玻璃基板 的位置。 结构：如右图所示，主要由推动汽缸和 塑料触片构成。推动，接触，感 知，测算。分布如图 (1) Mechanical pre 三、光刻设备简介 Aligner 工作过程演示 动画演示 三、光刻设备简介 Aligner 功能与及结构： 利用光的干涉原理 功能：测定PS,MS 位置 结构：激光器，反射镜，接 收器，计算电路 (2) Laser interference meter 三、光刻设备简介 Aligner AS的全称是alignment scope,就是 对位放大镜. AS主要功能是通过透镜以及光纤系统 将PLATE和 MASK的对位标记传送并 合成到一个平面,在这个平面上MASK 以及PLATE这两个平面坐标系的原点 重合.这样我们就可以以MASK对位标 志为基准进行对位. (3) A / S (alignment scope) 三、光刻设备简介 Aligner 对位标记（双对位，单对位） mask pre align Mask Fine TV-Pre Alignment TV-Fine Alignment 单对位是为了让双对位得以进行而进行的 三、光刻设备简介 Aligner Z-Sensor 概述： Z-Sensor顾名思义，就是检测Z方向距离的探测器，由于曝光机是依靠计算Z方向的距离来确定对焦情况的，所以这个sensor是非常重要的，如果z sensor出现检测不准的情况，那么就会直接导致对焦不量的发生，其表现形式就是图像边缘不清楚，模糊。 Z SENSOR (4) Z - sensor 三、光刻设备简介 Aligner (1) MASKING BLADE ； (2) Plate / mask stage ；