一洁净专用吸尘器.docVIP

洁净专用吸尘器 将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及 粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。 无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo （BCR）。 二、洁净专用吸尘器等级 现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空 署5340.2规格）。 其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如：空气中含有10个0.5 以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000微粒子。 三、洁净专用吸尘器共分为8个等级 一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2···8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为 1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。 21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿 的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中 用防尘材料及商品都显得格外重要。 所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当洁净专用吸尘器金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。 一、洁净专用吸尘器 ? 「无尘车间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。?洁净室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「无尘车间」。 二、洁净专用吸尘器-等级 ? 美国联邦标准（ USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3 洁净度级别 粒 径 (um) 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1 35 7.5 3 1 NA 10 350 75 30 10 NA 100 NA 750 300 100 NA 1000 NA NA NA 1000 7 10000 NA NA NA 10000 70 100000 NA NA NA 100000 700 ? 中国药品生产无尘车间（区）的空气洁净度标准 洁净度级别 尘埃最允许数 /平方米 微生物最大允许数 ≥0.5um 5um 浮游菌个 /立方米 沉降菌个 /皿.30min ? 100 3500 0 5 1 10000 350000 2000 100 3 100000 3500000 20000 500 10 30000061800 NA 15 ? 无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级GB50073-2001 空气洁净度等级 (N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 1 10 2 ? ? ? ? 2 100 24 10 4 ? ? 3 1000 237 102 35 8 ? 4 10000 2370 1020 352 83 ? 5 100000 23700 10200 3520 832 29 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 7 ? ? ? 352000 83200 2930 8 ? ? ? 3520000 832000 29300 9 ? ? ?8320000 293000 三、洁净专用吸尘器 控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。2. 能防止微尘粒子之产生。3. 温度和湿度之控制。4. 压力之调节。5. 有害