微细加工与纳米加工.pptx

3.2.1微机械及其特征3.2.2微细加工工艺方法3.2.3微细加技术发展与趋势3.2.1微机械概念及其特征1.微机械概念 MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的缩写。即微机电系统，它是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了硅微加工、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术， 并应用现代信息技术构成的微型系统。它包括感知和控制外 界信息(力、热、光、生、磁、化等)的传感器和执行器，以及进行信号处理和控制的电路。它是指可以批量制作的集微型机构、微型传感器、微型 执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路 和电源等一体的微型器件或系统，其特征尺寸范围为1nm～ 10mm.微机械按其尺寸特征可以分为：1~10mm的微小机械；1um~1mm的微机械；1nm~1um的纳米机械。而制造微机械采用的微细加工，又可以进一步分为微米级微细加工、亚微米级微细加工和纳米级微细加工等。微机械基本特征1 体积小，精度高，质量轻；已经制出直径细如发丝的齿轮，能开动3mm大小的汽车和花生米大的飞机。2 性能稳定，可靠性高；由于体积小，几乎不受热膨胀、噪声等影响，具有较强的抗干扰性，可在较差的环境下进行稳定工作3 能耗低，灵敏度和工作效率高；微机械所消耗的能量远小于传统机械的十分之一，但却能以十倍以上的速度来完成同样的工作。4 多功能和智能化；微机械集传感器、执行