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ESD基础知识惠州直通电源有限公司目录 前 言……………………………………………………………………………………3 第一章 静电基本理论……………………………………………………………4-5 第二章 ESD及其危害……………………………………………………………6-8 第三章 ESD控制…………………………………………………………………9-12前 言九十年代是电子工业高速发展的时期,日益剧烈的竞争,使得企业必须不断地降低制造成本,提升产品质量,才能在竞争中求生存,才有可能永续经营。对于电子工业,ESD对产品的质量、产品的可靠性、生产效率等都有非常大的影响,专家们估计,由于ESD损坏的电子产品,可达制程损坏8~33%的范围之多。可见,在制程控制方面,电子产品生产环境的ESD控制,仍是品质改进的关键要素之一。我们公司于2000 年初才真正开始电子产品的生产制造,对于电子产品的质量管控,我们需要不断努力去做好,而在制程ESD控制方面,我们亦必须采取有效的措施去预防电子产品被损坏,因此,在去实施预防控制之前,我们应该对ESD的相关基础知识有比较全面的了解及理解,才能很好地去运用这些知识去订定方案去防止ESD问题对产品的损坏。静电基本理论 静电的定义 静电是物体表面过剩或不足的静止电荷。静电是一种电能,它留存于物体表面:静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的结果,它亦是通过电子或离子转移而形成的。 静电的特点 在一般工业生产中,静电具有高电位、低电量、小电流和作用时间短的特点,设备或物体上的静电位最高可达数万伏至数十万伏;在正常操作条件下也常达数百或数千伏,这远比市用低压电220/380V高得多,但所积累的静电量却很低,静电电流多为微安级;作用时间多为微秒级。 静电受环境条件,特别是湿度的影响较大,湿度越小,则越容易产生静电;静电测量时复现性差,瞬间现象多。 静电的产生原理 静电的产生。静电一般由物体通过接触,分离而产生。主要产生方式为摩擦;冷冻,电解,温差,接触等同样会产生静电。其基本过程可归纳为: 接触→电荷转移→偶电层形成→电荷分离 静电产生的原理。 从微观角度来看,一般来说,物体是由一种叫原子的微粒构成的,而原子是由带正电(+)的质子和带负电(-)的电子及不带电的中子组成,一般物体具有相同数量的质子及电子,所以整体上不带电,当两物体紧密接触后分离,电子就会从一个原子转移到另一个原子上,从而造成两物体所带电子数量不相等:得到电子之物体带负电,失去电子的物体则带正电,所以均会呈现出电性。电子转移的多少,与物体间的接触面积、分离速度、相对潮湿度等有很大的关系。 四.材料的特性以及其对静电的影响。 实际上,所有的物体,包括水和空气中的尘埃微粒,都能够摩擦起电,但一般在导电性较强的物体上静电现象一般难于体现,这主要是与物体的导电特性有关。 绝缘材料 能够阻止或限制电流(子)从其表面或内部流动的材料。绝缘材料具有很高的阻抗,由于电子不易在绝缘体上流动,所以正负电荷能够同时留在其表面不同位置,即使其表面某一位置的多余电子与另一位置欠缺的电子数量相等,理论上可以中和而呈现中性(不带电),但由于在绝缘体上电子很难流动,不同位置的电荷很难中和,那幺会它们会存留在原处很长一段时间而呈现电性。 2.导电材料 导电材料具有较低的阻抗,电子在其表面或内部能容易流动。当导体上有过剩或不足之电子时,它们均能很均匀地分布,当带电的导体与另外导体接触,这些电子很容易转移,假如另一导体接地,则多余的电子会流向大地而达到电荷中和呈不带电状态。 静电耗散材料 电阻率介于导体和绝缘体之间,表面电阻率等于或大于105Ω/cm2但小于1012Ω/cm2,体积电阻率等于或大于104Ω.cm2 ,但小于1011Ω.cm2的材料,这种材料的静电荷在其表面移动速率远低于导体,但高于绝缘体,当受到摩擦时,表面产生的电荷可以较快地扩散和泄漏,不会造成材料放电,可作为ESD防护材料。 静电的危害 静电吸咐 物体正负电荷失衡,形成静电位,从而产生电、磁场,其磁场力使生产现场的浮游尘埃被吸咐于IC及其它元器件上,以影响元器件使用寿命及使其工作失效。 静电放电(ESD)引起元器件击穿 制造流程加工中,由于产品与人或其它物体接触――分离,摩擦,感应等作用使工作人员,工具,工作台面之器件,包装容器等产生静电,其聚集过多释放,产生瞬时高压,远超元器件破坏性电压,从而使元器件击穿。 静电感应制造过程中产生的静电源(人体,工作服,工作台等),形成静电场,从而使置于其中的元器件感应出正或负静电荷,造成损害。 静电的积累及释放 绝缘体最易积累静电,能高达上万伏,且不能通过接地导走。 金属体亦可以积累静电,但可以通过接地导走电荷。 静电的积累与释放时刻都在进行(物质之间或物质向空气中)。 产品上的静

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