光声光谱法测量紫外光探测器的光谱响应Measurementofspectral.docVIP

光声光谱法测量紫外光探测器的光谱响应Measurement of spectral response of ultraviolet detector Using photo acoustic spectroscopy Nanjing University of science technology Zijin College 姓名：陈浩 班级：06土木（2）班 学号：060105204 Abstract：Measuring system of spectral response, which is based on the photo acoustic spectroscopy (PAS) with the photo acoustic detector of high sensitivity as a reference one, is established. Due to this technique, the relative spectral response of two kinds of ultraviolet detector is exactly measured. The experiments a results show that this measuring system is simple, reliable and easily repeated. Not only can it be used to measure the spectral response of ultraviolet and visible photo-electronic detector, but also can be used to PAS analysis of solids. Keywords：ultraviolet detector，relative responsibility，photo acoustic spectrum，photo acoustic detector，xenon lamp 1. 前言 近十几年来，随着半导体材料器件的快速发展，已出现了各种性能及型号的紫外光探测器。紫外光探测器的光谱响应特性是它一个非常重要的性能指标之一。因此，准确地测量紫外光探测器的光谱响应曲线，对紫外光探测器的性能评价、器件的制造和推广应用是有十分重要的意义。测量光探测器的光谱曲线的方法主要有两种：标准探测器法和标准光源法。通常采用热释电、热电偶、si 光电二极管、光电倍增管等作为标准探测器，但它们在紫外波段存在着响应灵敏度低或测量带宽过窄等问题，测量准确度受到限制。本文利用自制的高灵敏度的光声探测器，建立一套基于光声光谱技术的紫外光探测器光谱响应测量系统，较准确地测定了两种紫外光探测器的光谱响应曲线。通过实验发现，本测量系统具有结构简单，工作可靠，重复性好等特点，能快速、高效地得到紫外光探测器的光谱响应曲线，适合于紫外光及可见光探测器光谱响应的测量，也可用于固体样品的光声光谱分析。 2. 测量原理 2. 1 光声光谱的原理 光声光谱是建立在光声效应基础上的一种高灵敏度光谱测量技术，光声信号的产生和检测过程是一个光、热、声、电的能量转移过程。它反映了光与物质相互作用的特性。光声光谱的波长范围很宽，从紫外区经可见区一直到红外区，能检测和分析弱吸收、高反射和散射样品的光声和吸收特性，是一种非破坏性和普适性比较强的光谱探测方法。在光声效应中，样品吸收调制的光能而受到交变加热,部分热能通过热传导流入与它相接触的气体，产生交变加热的振动，犹如一个振动活塞而向其余气体发射声波，最后由微音器接收，从而产生了光声信号。由固体RG理论，得微音器光声信号的大小为：Ph (λ)=Kβ(λ)I(λ) (1)式中β (λ ) 为试样的光吸收系数， 0I (λ)为入射光强，K 为比例系数（与光声池结构、斩波器频率、微音器灵敏度等有关的比例常数）， ( ) g p λ 为光声信号的强度。通过检测不同波长时的β (λ ) ，即可得到被测材料的光声光谱。 2. 2 标准探测器法 标准探测器法较容易实现紫外光探测器的光谱响应测定。以高灵敏度的光声探测器作为标准探测器，或作为参考探测器。实验中，假设光源的光强为I (λ)，系统的透过率函数为__T(λ),光声探测器的相对光谱响应为( ) H S λ ，紫外光探测器的相对光谱响应为( ) D Sλ ,则光声探测器探测到的光声信号为： Ph(λ)=Sh(λ)I(λ)T(λ) (2) 紫外光探测器探测的光电信号可以表示为： Pd(λ)=Sh(λ)I(λ)T(λ) (3) 式（3）与式（2）相除得： Sd(λ)=Pd(λ)Sh(λ)/Ph(λ) (4) 在(4)式中， Sh(λ) 常常是已知