低温泵知识徐玉峰.ppt

低温泵相关知识交流　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 浙江博开机电科技有限公司（徐玉峰） 2013年7月3日 　 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 １、低温泵的构造 ２、低温泵各部件的功用及工作原理 ３、低温泵实用案例 4、 低温的维护保养及特点 目次 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 什么是低温泵 利用小型氦制冷机作为冷源，产生10K（-263℃)左右的低温，通过冷凝和吸附被抽容器的气体来获得和保持高真空的设备。 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 采用技术 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 ●低温技术 —— 低温的获得（即降温）、保持与应用技术 ●真空技术 —— 真空的获得、保持与应用技术 *压缩机 将氦气压缩之后送到制冷机里 *制冷机 使被压缩的氦气在制冷机里压缩，膨胀，持续降温，达到冷却作用 *泵体 泵体内（障板处）将气体凝固，使气体被吸附获得更高真空 ※上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。　 低温泵的构成 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 低温泵的构造 10k制冷机 低温泵内部结构 （氦）压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 7０Ｋ障板 因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升 因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 7０ Ｋ 冷屏 黑漆处理层面如果脱落了，辐射的 热量被反射，增加15 K冷板的负载。 热辐射 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能 辐射热 20Ｋ 冷板吸附阵 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 制冷装置—制冷机、压缩机 制冷机的物理学依据 根据热力学第二定律，封闭系统内部热能自发的流动方向是单向的，即只能从高热流向低热。 低温泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。 气体在低温泵内遇冷从而凝华变成固态，凝华的过程中释放热量。热量被一级、二级冷凝头吸收，再通过热交换从压缩机转移出去。 一级冷头 50-70k 二级冷头 10-20k 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 氦气循环原理 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 低温泵的抽气方式 抽气的主要方式 低温冷凝 气体分子冷凝在表面上或冷凝板在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。 低温吸附 气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。 低温捕集 在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 温度的换算 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 低温泵抽气原理 H2O N2 Ar Ne 65 - 100 K ~15 K ~15 K H2 通过这层，水蒸汽被冷凝，其它气体被预冷 N2、Ar等气体通过这层被冷凝 H2, He和Ne气体通过这层被低温吸附 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 气体成分 第一层次为 水气类 第二层次为 氮气、氩气等 第三层次为 氢气等 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 低温泵的抽速 气体吸附效果图 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 低温泵应用案例 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 博开DZB500低温泵在无锡某微电子公司镀膜机上的应用 实用案例 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 博开DZB500低温泵在南京某光电公司红外镜片镀膜机上的应用 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 博开DZB550低温泵在浙江某装钸品镀膜机上的应用 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 博开DZB300在某LCD显示屏镀膜线上的的应用 制冷装置—制冷机、压缩机 浙 江 博