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一、分析研究课题? 集成电路是采用半导体制作工艺,在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件,并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。它在电路中用字母“IC”(也有用文字符号“N”等)表示。? 自从1958年世界上第一块IC问世以来,特别是近20年来,几乎每隔2-3年就有一代产品问世,至目前,产品以由初期的小规模IC发展到当今的超大规模IC。IC设计、IC制造、IC封装和IC测试已成为微电子产业中相互独立又互相关联的四大产业。微电子已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导和基础。有了微电子技术的超前发展,便能够更有效地推动其它前沿技术的进步。随着IC的集成度和复杂性越来越高,污染控制、环境保护和静电防护技术就越盲膨响或制约微电子技术的发展。同时,随着我国国民经济的持续稳定增长和生产技术的不断创新发展,生产工艺对生产环境的要求越来越高。大规模和超大规模Ic生产中的前后道各工序对生产环境提出了更高要求,不仅仅要保持一定的温、湿度、洁净度,还需要对静电防护引起足够的重视。? 导电能力介于导体与绝缘体之间的物质称为半导体。半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电导率在10(U-3)~10(U-9)欧姆/厘米范围内。半导体材料的电学性质对光、热、电、磁等外界因素的变化十分敏感,在半导体材料中掺入少量杂质可以控制这类材料的电导率。功能多样的半导体器件正是利用半导体材料的这些性质才制造出来的。? 由于科技进步日新月异,集成电路和半导体的发展也非常的迅速,不仅对半导体和集成电路本身,而且对其生产的环境,也有更高的要求,何况由于科学技术的发展,人们以往所获得的知识也会有所变化,因此,需要对这方面的知识以及其在世界范围内的发展趋势进行全方位的掌握,本课题主要就是查找集成电路环境和半导体器件方面的一些知识以及研究情况。? 二、制定检索策略? 1、选择检索手段? 本课题的检索手段以计算机检索为主,同时将手工检索与计算机检索相结合。? 2、选择检索工具? 欲查找“集成电路环境与半导体器件”方面的文献,必须选用恰当的检索工具。根据课题要求以及检索工具收录文献源的情况,本课题选用综合性检索工具和数据库及集成电路类专业检索工具和数据库。具体选用下列检索工具和数据库:? (1)《全国报刊索引》? (2)《全国新书目》? (3)《中国国家数目》? (4)《中国专利索引》? (5)《工程索引》? (6)CNKI期刊全文数据库? (7)万方数据资源系统? (8)超星数字图书馆? (9)中文科技期刊全文数据库? (10)中国学术会议论文数据库? (11)中国学位论文数据库? (12)中国专利数据库? (13)中华人民共和国国家知识产权局网站? (14)Engineering Village 2数据库? (15)荷兰Elsevier全文数据库? (16)欧洲专利数据库? 3、选择检索方法? 本课题主要为了获取近几年来国内外的研究情况,检索方法选择顺查法和倒查法相结合。? 4、选择检索途径? 本课题的查找,可从分类和主题途径进行检索。? (1) 分类途径? 从课题分析可知,本课题的学科分类属于工业技术。根据《中国图书馆图书分类法》的类目设置,可选择以下分类号作为检索入口:? TN4 集成电路? TN3 半导体技术? TN36半导体光电器件? TN37半导体热电器件、热敏电阻? (2)主题途径? 根据课题分析,可选用以下主题词作为检索入口:? 中文主题词:集成电路;环境;半导体器件;半导体集成电路? 英文主题词:integrated circuits;conditions; semiconductor devices;? 5、构造检索式? 在计算机检索系统中,各检索词通过逻辑组配关系确定运算方式。本课题的检索可选择以下逻辑运算制定检索策略:? (集成电路AND环境)OR半导体器件? ( integrated circuits and conditions)or semiconductor devices? 三、实验性检索? 以CNKI全文数据库做试验性检索。? 打开CNKI全文数据库,选择高级检索,数据库范围选择全选,数据库时间范围选择1990到2006年,排序选择按收录时间顺序到排。检索字段选择在篇名/关键词/摘要中检索。在检索对话框中分别输入“集成电路 ”、“环境”、“半导体器件”。? 检索词之间的逻辑运算关系第一个选择“与”,第二各选择“或”。点击”检索“按钮,获得检索结果。经阅读命中文献的详细信息,符合检索课题要求。? 四、正式检索? 根据所选用的检索方法,在选择的检索工具和数据库中分别进行检索。? 本课题的检索可按文献类型分别检索国内外相关文献。? 1、国内期刊论文的检索

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