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CCD测径实验 背景简介CCD (charge-coupled device)-电荷耦合器件,是一种新型的固体成像器件,是光电成像领域里非常重要的一种高新技术产品。CCD是用电荷量来表示不同状态的动态移位寄存器,由时钟脉冲电压来产生和控制半导体势阱的变化,实现存储和传递电荷信息的固态电子器件。传统的固态电子器件,信息的存在和表示方式,通常是用电流或电压。而在CCD中,则是用电荷,因此CCD对信息的表达,具有更高的灵敏度。CCD光电传感器是光电成象领域里非常重要的一种新型的固体成象器件。在工业生产中得到了广泛应用,诸如冶金部门中各种管、线、带材轧制过程中的尺寸测量,光纤及纤维制造中丝径尺寸测量、控制机械产品尺寸测量、分类,产品表面评定,文字与图形识别,传真、光谱测量以及空间遥感等。 实验目的1. 学习和掌握线阵CCD器件的几种实时在线、非接触高精度测量方法;2. 学习和掌握测量系统参数的标定方法。实验仪器 实验原理 一、线阵CCD尺寸测量的基本原理:线阵CCD测量系统组成如下图所示,整个测量过程包括:成像系统、图像信号输出、二值化处理确定图形轮廓、测定轮廓间的像元数、通过计算或实验确定脉冲当量并按测量公式计算被测尺寸。二、平行光投影法:线阵CCD由一系列等距离光敏元构成,当一束平行光透过待测目标投射到CCD器件上时,由于目标的存在,目标的阴影将同时投射到CCD器件上,在CCD器件输出信号上形成一个凹陷。如果平行光准直度很理想,阴影的尺寸就代表了待测目标尺寸,由于光敏元的尺寸在制作时就已经确定,如果设光敏元尺寸为d,那么只要统计出阴影部分的CCD像元个数N,则像元个数与像元尺寸的乘积就代表了目标的尺寸l=Nd。三、光学成像法:为光学系统放大倍数。而像的大小l=Nd ,则 l= Nd 。实际测量上考虑到受光学系统畸变等的影响,修正为L=Kl ,K表示每个像元所代表的物方尺寸的当量,它与光学系统的放大倍率、CCD像元尺寸等因素有关。对于一个已选定的CCD器件,可以采用不同的光学成像系统来达到测量不同尺寸的目的,光学系统担负着传递目标光学信息的作用,对CCD成像质量有着十分重要的意义。四、系统参数标定:1. 一次标定。标定的方法是:先把一个已知尺寸为Lp的标准模块放在被测目标位置,然后通过计数脉冲,得到该模块的像所占有的CCD像元数Np,从K=Lp/Np可以得到系统的脉冲当量值,K值表示一个像元实际所对应的目标空间尺寸的当量。然后再把被测目标Lx置于该位置,测出对应的脉冲计数Nx,由Lx=KNx可以算出Lx值。这就是一次标定。2. 二次标定。为了在实测值中去掉系统误差,可以采用二次标定法来确定系统的当量值K。实验表明,被测物体的实际尺寸和Lx对应像元脉冲数Nx之间有Lx=KNx+b,b就是测量值中的系统误差,通过两次标定就可以确定K和b值。其方法是,先在被测位置上放置一已知尺寸为L1的标准块,通过计数电路得到相应的脉冲数N1,然后再换上另一个已知尺寸为L2的标准块,再得到对应的计数脉冲N2,将L1、L2、N1、N2代入Lx=KNx+b可以算得K和b。 实验内容 1. 测量前调整 (1)将仪器与计算机相连,启动软件; (2)光强调节,将平行光源盒上的电源打开,调节旋钮,使光强适中。在屏幕上看到的波形最高点在屏的顶部,并留有较多的起伏毛剌为较合适; (3)光路调节,在原CCD采集盒处放置一张白纸,缓缓升降平行光源,观察白纸上的被测物的像,应基本处于光斑中部; (4)聚焦调节,在测量架上放置一个待测物,前后调节显微物镜与测量物间的距离(即调焦),在屏幕上观察调焦效果。局部视窗显示出曲线边缘的精细结构。边缘越陡直,像元点越少即调焦越正确,调焦完成后就可以开始测量。(软件界面如图) 2. 一次标定法测量物体直径 (1)选取合适的标准物,用千分尺测出准确的直径; (2)执行“系统校准”命令,在软件窗口的对话框中输入标准物的尺寸,并选择明纹或暗纹; (3)在仪器测量架上放上直径为L1标准物,执行“开始采集”命令,得到正确的图形后,用“停止采集”命令冻结图形,得到它的阴影所对应的CCD像元数N1; (4)执行“校准”命令,得到像元的分辨率,数值显示在结果区和状态条里; (5)换上待测物,执行“测径”命令,得到测径的结果,显示在结果区里,或者启动动态连续测径,可得到连续的,随时更新的测量结果,逐次测量数个物体直径。 3. 二次标定法测量物体直径 (1)选择第二个直径为L2的标准物,对它进行一次标定,得到它的阴影所对应的CCD像元数N2; (2)将一次标定得到的L1,N1和L2,N2,解出K与b; (3)换上待测物体,参照一次标定法得到它所覆盖的CCD像元数Nx(软件得出的直径是未修正的,即一次标定法的测量值),代入Lx = KNx +
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